激光光栅多普勒横向位移遥测传感器

介绍了一种光栅横向位移遥测传感器,被测位移和光束方向垂直。该系统利用激光光栅的多普勒效应进行测量,采用差动光路结构．理论计算和实验表明,此系统测量范围大、信号质量好、分辨力和测量精度高,并具有很大景深范围,可应用于具体生产环境中的位移遥测。     

反射式动栅光纤传感器及应用

提出一种新型的光纤传感器——反射式动栅光纤传感器。这种传感器是采用光纤作为传光元件,而敏感元件是一对等节距光栅,其中一块为定栅,一块为动栅,当两光栅位置发生变化时,其光通量随之变化,再经光电转换系统转换信号后以电信号输出的传感系统。该传感器结构简单,使用方便,可用于测量位移、应变及其它物理量,尤其是在高温测量、连续变化量测量及实时监测等方面,更显示其优越性。文中给出了这种传感器的理论分析,并以测位移为例,给出了实测结果。实验结果表明,理论分析与实验结果相一致,并具有一定的测试灵敏度     

基于坐标融合的大型壳体壁厚自动测量方法研究

介绍了一种基于光栅投影测量原理的大型壳体壁厚自动化测量方法及其在大型锥形壳体产品自动测量中的应用。采用基于坐标转换统一的数据拼接方法,通过对自动测量系统的多坐标系综合标定,实现了多站位扫描测量数据的精密拼接融合。利用点云检测软件Polyworks完成了产品数模比对分析和壁厚检测,并对测量系统壁厚测量不确定度进行了分析评定。结果表明,基于坐标融合的大型壳体壁厚自动测量方法可有效提高产品的检测质量和检测效率。     

铝基微结构光栅几何参数反演

微结构光栅是一种广泛应用的电子元件。采用随机微粒群优化(SPSO)算法反演了一维铝基衬底矩形光栅的几何结构参数。首先介绍了严格耦合波分析(RCWA)法和微粒群优化算法的基本原理,并采用RCWA法求解了光栅内电磁场问题;然后根据正问题求得的光栅光谱反射率建立目标函数,并采用SPSO算法优化目标函数,反演得到单槽和双槽矩形光栅的周期、凸脊宽度和凹槽深度;最后分析了种群大小和搜索区间对反演结果的影响。结果表明,SPSO算法可以准确地反演光栅几何结构参数,并推荐种群数取30。     

贴片云纹干涉法测量离面位移及振动

将全息胶片用特种胶粘贴到试件表面,用加载前后两次曝光法得到全息云纹,然后使胶片与测试对象分离后进行处理,这种可分离处理的贴片云纹干涉法在面内位移及应变场测量中已获得成功应用。它具有实验周期短、工艺简单、测量精度高等优点。本文首次提出采用非对称双光束入射贴片云纹干涉法,在忽略较小面内位移影响的前提下可获得离面位移及振幅场。文中用付里叶光学验证了面内位移定量公式,推导了离面位移及振动的计算公式,并对测量精度及灵敏度作了讨论。最后给出了对悬臂梁挠度及矩形板横向振动的测试结果。本文的工作扩大了贴片云纹干涉法的应用范围,对工程实际应用具有一定价值。     

双频光栅剪切干涉仪及其在流动显示中的应用

一种可用于风洞流场显示的双频光栅剪切干涉仪,它是在普通光栅干涉仪的基础上发展起来的一种用于光学检验和测量的干涉装置,其结构简单,容易调整,风洞流场显示中使用的各种纹影仪均可方便地进行改装。这种干涉仪的关键部件是一块带有两个不同空间频率的全息光栅,该光栅可以在普通光学实验室制作而无需任何精密的光学或机械加工,因此,与共它干涉仪相比,双频光栅剪切干涉仪更为经济实用。它的制作方法和剪切干涉原理,以及使用过程中发生的像畸变修正方法都作了介绍,并给出了在激波风洞流场显示中的初步实验结果。     

FIBER OPTIC TEMPERATURE MEASURING SYSTEM

提出了一种可用于多种场合的光纤温度检测系统。该系统具有反射式结构,由热双金属片、连杆－活塞机构、光栅及光纤探头组成。温度变化引起热双金属片变形,通过连杆－活塞机构,使得光栅在竖直方向移动。光纤探头用来检测由于温度变化引起光栅移动产生的条纹数。通过光纤光缆可以将检测信号传输１ｋｍ以上,系统的温度测量范围达到１００℃,精度达±０．２℃。     

平面光栅的偏振特性分析

平面光栅作为一种重要的光学元件,被广泛应用于声光学,全息光学及光谱学领域,在高辐射灵敏度的光学遥感系统中,系统对偏振灵敏度的要求也很高,这就需要对光栅的衍射效率及偏振特性做详细的研究,文中利用严格耦合波分析法讨论了光栅的偏振特性,并给出了平面光栅的偏振矩阵。     

应用不等栅距光栅的光刻对准系统

介绍一种在分步投影光刻机中,采用不等栅距光栅进行对准的系统。详细介绍了该系统的光学原理、所采用对准目标的刻线形式、空间滤波的方法、信号处理的方法和对系统有影响的误差源以及改进措施。     

光栅地震检波器的研究

阐述了一种新型地震检波器———光栅地震检波器的工作原理和理论计算,从理论上给出了该地震检波器的响应函数、分辨率等重要参数。