工艺参数对SiC单晶片切割表面质量的影响

SiC单晶片表面质量对其后续半导体器件的制造有很大影响,但其材料的高硬度和高脆性,使切片过程变得非常困难。本文在往复式电镀金刚石线切割装置上采用单因素和正交法进行了SiC单晶切割实验,研究了工件转速、线锯速率、工件进给速率、线锯磨损对晶片表面粗糙度的影响规律以及三维形貌特点。结果表明:附加工件旋转运动,晶片表面质量提高,划痕减少、深度变浅;线速增大、工件旋转速率增大或工件进给速率减小,表面粗糙度值减小;线锯磨损晶片表面粗糙度值增大。相对线速和线锯磨损,工件转速和工件进给速率对晶片表面质量及粗糙度的影响更大。应在综合考虑效率和线锯损耗的基础上合理确定切割参数,尤其是工件进给速率。     

10mm厚TC11钛合金电子束焊接熔池传热与流动行为研究

采用ANSYS软件中的Flotran模块,建立了基于高斯面热源与峰值热流递增的旋转体热源相结合的新型复合热源模型,合理地模拟了10mm厚TC11钛合金平板的电子束焊接熔池传热与流动行为。结果表明:计算熔池边界与真实焊缝的熔合线轮廓吻合较好,均呈现电子束焊接典型的"钉子形"焊缝。     

工程陶瓷型面的超声磨削装置设计

以工程陶瓷三维型面的加工为例 ,介绍了超声磨削装置的结构、变幅杆及其系统设计 ,推导了用于数控加工的超声磨削装置变幅杆设计的数学模型。最后 ,在此基础上结合实际范例进行了验证 ,两者结果基本吻合 ,并在相关研究项目的设计中收到了良好的效果。     

ELID沟道成形磨削氧化膜特性及影响作用实验

针对ELID沟道成形磨削特点,研究了磨削过程中氧化膜的特性及其影响作用。探讨分析了氧化膜的电流表征、氧化膜在沟道成形磨削中的状态变化以及氧化膜状态对磨削力和表面粗糙度的影响。实验过程中,电解电流从1 A增长到4 A,氧化膜厚度从35.33!m减小到11.07!m,法向磨削力从7.06 N增长到36.12 N,切向磨削力从1.62 N增长到4.47 N;垂直于磨削方向的表面粗糙度由0.256!m增长到0.355!m,平行于磨削方向的表面粗糙度由8 nm增长到13 nm。结果表明,氧化膜越厚,磨削力和表面粗糙度越小;氧化膜越薄,磨削力和表面粗糙度越大。     

磨削表面形貌建模研究现状与展望

文 摘 磨削表面形貌是磨削表面完整性的重要指标之一,其对材料的接触应力、耐磨耐腐蚀性及抗疲劳强度等起着关键作用。本文概述分析了国内外在磨削表面形貌建模方法、技术路线、研究结果等所取得的进展,对磨削表面形貌建模的三类方法(经验建模法、理论建模法、有限元分析法)进行了综述,对各类建模方法的原理和优缺点进行论述,指出当前相关磨削表面形貌研究方向存在的问题。最后,提出了磨削表面形貌建模研究的发展方向。     

DD9镍基单晶高温合金磨削表面质量实验研究

涡轮叶片榫齿常采用磨削加工,磨削工艺参数决定了其加工表面的质量和疲劳性能。基于正交试验研究磨削参数对第三代镍基单晶高温合金DD9 磨削表面粗糙度及硬度的影响规律和机理。结果表明：磨削表面粗糙度受砂轮线速度vs 的影响最大,工件进给速度vw 对其的影响次之,而受磨削深度ap 的影响最小;磨削表面出现加工硬化,加工硬化程度在1.9%~13.8% 之间,亚表面硬化层深度在60~120 μm 之间;为获得粗糙度小、纹理均匀、硬化程度小的DD9 高温合金磨削表面,精加工推荐的磨削参数为vs∈［20 m/s,25 m/s］,vw∈［12 m/min,16 m/mim］,ap∈［10 μm,15 μm］。     

Experimental and numerical study of deposition mechanisms for cold spray additive manufacturing process

Cold spray is an attractive and rapidly developing process for additive manufacturing with high efficiency and precision, repairing and coating, especially in aircraft and aerospace applications. Cold spray additive manufacturing deposits micro-particles with large plastic deformation below their melting point, eliminating heat effect zone which could deteriorate the quality of repairing zone. The particle deposition in cold spray is a complex process which involves high strain rate,high contact...     

AP/HTPB复合推进剂低压燃烧特性数值研究

为研究AP/HTPB复合推进剂低压燃烧特性,使用二维三明治模型进行了数值仿真研究。该模型使用简化的四步总包反应机理,考虑燃烧过程中的燃面退移,计算时大粒径AP取平均粒径,小粒径AP采用“均质黏合剂假设”,认为其与HTPB组成“均质黏合剂”。在0.02MPa-0.08MPa的压强下进行了仿真,并与高压（5MPa）下的燃烧仿真进行对比。结果表明,低压下固相AP对黏合剂的传热导致了交界面处燃面的下陷,下陷程度随压强减小而增大;随着燃烧的进行燃面各点燃速趋于一致,燃面形状不再改变。低压下气相反应表现为预混燃烧,初焰为主导反应。低压下燃速仿真与实验值基本一致,压强指数小于高压下的压强指数。     

远场激光散射法测量高精度表面粗糙度研究

文本介绍一种通过对远场散射光的统计分析来测量高精度平面及球面粗糙度的新方法。采用一维CCD器件来探测散射光分布。实验结果表明,所选用的远场散射光分布特征参数与标准粗糙度Ra之间存在很好看相关系。     

物体表面形状对热象仪测温的影响

本文报道利用红外热象仪 AGA780系统测量金属铝、铜和非金属石膏的平板及圆柱表面温度的准确度实验研究的结果。给出了表面形状不影响温度测量的“自由极角”范围,并且对影响测量准确性的其他因素也进行了讨论。