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X射线光刻机中应用的精密定位工作台 总被引:2,自引:0,他引:2
嵇钧生 《航空精密制造技术》1998,(3)
为适应超大规模集成电路器件的发展,微电路图形的特征线宽愈来愈细的特点,发展了电子束光刻及X射线光刻,而X射线光刻由于其极高的分辨率,对未来的大规模集成电路器件的制作具有很大的应用潜力。随之而来的是要有高精度的定位工作台,以保证高套刻精度的要求。 相似文献
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同一卫星观测平台上的不同偏振遥感器,可通过数据融合获取更高质量的探测结果。基于该设想,搭建了由高精度偏振扫描仪(POSP)和同时偏振相机(SIPC)构成的同平台偏振仪器航空验证系统,并完成了飞行实验。文章系统阐述了其系统构成、数据预处理、视场匹配和交叉定标方法,评估并展示了部分航空验证结果。结果表明:POSP和SIPC视场匹配误差约为0.12个POSP像元;通过偏振交叉定标、均匀陆地地表这2个仪器辐亮度偏差为2.54%,偏振度偏差为0.013,验证了双偏振仪器探测数据的有效性和交叉定标的可行性。为星载偏振交火探测系统设计、数据预处理、偏振交叉定标方法和在轨应用评价等提供了依据和支持。 相似文献
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434.
一、前言我国于2012年完成了北斗卫星导航区域系统的建设,可为我国及周边地区提供服务,定位精度水平方向优于10m,测速精度优于0.2m/s,授时精度优于50纳秒,同时可为特定用户提供短报文通信业务服务,北斗卫星导航系统的应用越来越广。卫星导航系统作为高精度的空间位置和时间基准,能够直接为地球表面和近地空间的广大用户提供全天时、全天候、高精度的定位、导航和授时服务,是当今国民经济、社会发展和国防建设的重要空间信息基础设施。卫星导航系统一般由空间段卫星星座、地面 相似文献
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436.
据报道,2005年11月17日,美国导弹防御局(MDA)和海军成功进行了宙斯盾弹道导弹防御拦截测试,并通过由霍普金斯大学应用物理实验室(APL)研制的传感器对试验情况进行密切关注。该传感器可提供高精度图像,从中可看到目标的撞击点,并有助于了解连接固体燃料助推器发动机残骸的加速燃烧。试验中,靶弹在大气层外被标准-3导弹成功拦截。 相似文献
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电烘箱在工厂使用十分普遍,一般都有一套自动控温装置,即便如此,跑温事件还时有发生.如何提高烘箱控温的可靠性,减少或避免跑温,在工厂具有现实意义.笔者根据概率论的基本原理,将电烘箱由一套系统控温改为两套独立、主触点串联的双系统控温,能大大提高烘箱控温的可靠性,降低跑温概率.根据此原理改装的两台烘箱,经多年实际使用的考验,效果良好.本文介绍其中一台烘箱的改装电气原理. 相似文献
438.
439.
直线电机在划片机中的应用 总被引:2,自引:0,他引:2
介绍了直线电机在划片机中的应用,结果表明,直线电机在高精度定位和进给方面,性能优异。 相似文献
440.