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261.
设计了一种机床液压主轴油路检测系统,以液体静压主轴试验台为基体,建立了基于传感器的油体温度、压力和流量检测装置,并利用数据采集卡对各状态参数进行了采集,编写了一个数据采集和处理软件。 相似文献
262.
263.
264.
论述了首次采用双列圆柱滚子轴承于三轴台中框水平轴系上,使三轴精密角运动台达到了三个轴摆角1″、两个轴垂直度1″的要求。 相似文献
265.
简述了毫米波柔性电缆组件的设计,给出了自行研制的2.4mm连接器柔性电缆组件在(26.5~36)GHz频率范围内电压驻波比、插入损耗等的测试结果。表明其达到了预期的技术指标。 相似文献
266.
X射线光刻机中应用的精密定位工作台 总被引:2,自引:0,他引:2
嵇钧生 《航空精密制造技术》1998,(3)
为适应超大规模集成电路器件的发展,微电路图形的特征线宽愈来愈细的特点,发展了电子束光刻及X射线光刻,而X射线光刻由于其极高的分辨率,对未来的大规模集成电路器件的制作具有很大的应用潜力。随之而来的是要有高精度的定位工作台,以保证高套刻精度的要求。 相似文献
267.
268.
269.
对精密旋转设备的静、动平衡原理进行了深入分析,提出了相应的测量方法;为了减小对主轴回转精度的影响,进行了双校正面的动平衡系统设计和整机的静平衡系统设计,其结论对各类精密旋转设备总体结构和主轴系统设计具有指导意义。 相似文献
270.
对油气分离式缓冲器的静压曲线特性、P0的测量误差、落震容差减油试验进行了分析。分析结果表明:油气分离式缓冲器的摩擦系数μ可以介于0到5%之间;温度和压力表对P0的测量结果有很大的影响;落震容差减油试验要考虑串油漏油和漏油的情况;在给油腔灌油时,要尽量排尽里面的空气。 相似文献