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随着微器件的尺寸日益缩小,有必要评估Casimir力对微器件性能的影响。本文以微机电系统中常见的微加速度计为对象,建模分析了Casimir力对其性能的影响。研究表明,Casimir力对微加速度计性能的影响随极板间距离的减小而迅速增大。Casimir力使得微加速度计的最大可检测加速度减小,并且随支撑粱刚度的减小,对灵敏度的影响逐渐增大。当检测电容极板间距离等于400nm时,Casimir力引起微加速度计的最大可检加速度的降幅迭5.89%。 相似文献
223.
电容测微仪是将位移的微变转换为电压的微变的仪器.准确快速标定电容传感器静态参数是实现精密测量的前提和关键.根据传感器标定理论要求与电容式传感器的实际情况,提出一种对电容式传感器静态参数进行标定的方法.该方法采用了LabView软件编写数据采集程序,对逐次采集的电压进行存储并计算,按照不同的评价原理自动得到性能参数.实验结果证明,此种标定方法精确、快速,可推广到其他类传感器的标定. 相似文献
224.
给出了一种用于新型悬浮结构的使用差分电容进行角度检测的电路分析。为了确保电路具有较小的非线性和高分辨率,进行了电路的噪声分析和和输出信号的非线性度仿真。在电容检测接口中,使用了电荷积分放大器作为前置级以消除由于电容接线引起的寄生电容。分析了当存在耦合电容时差分电容桥的输出以及输出信号的非线性误差,分析结果显示该检测电路可以实现高分辨率和低非线性的角度检测。使用 PSpice 仿真并制作了电容检测印刷电路板。实际实验中,该电路可以检测的最小角度分辨率为 0.04o,非线性误差为 2.3%。 相似文献
225.
表面充放电是引起航天器异常和故障失效的常见原因之一,表面电位探测器是监测航天器表面充电效应的有效载荷。目前测量表面电位的应用较多的技术方案是电容分压式,但这种方案的探测器长期工作时会出现输出电压漂移的现象。针对此问题进行详细的理论分析,得出诱导输出电压漂移的主要因素是电容分压自身的指数型传递函数特性、反向输入偏置电流、前放输入阻抗有限和静电荷泄漏。最后,提出了增加偏置到地回路和增大输入阻抗、增大指数项时间常数、数据校正、电荷清零等优化方法,并通过分析和测试最终得出了电容分压式表面电位探测器的应用结论。 相似文献
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