提高UV-LIGA制备金微细零件的尺寸精度研究(英文)

在众多影响UV-LIGA(Ultra-violet lithography Galvanik abformung)技术制备微细金属零件尺寸精度的因素中,SU-8胶溶胀性是最主要的。通常采用隔离带方法降低SU-8胶的溶胀性,以提高电铸微细零件的尺寸精度。由于贵重金属会沉积到隔离带内,造成了贵重金属的浪费,增加制造成本,因此该方法不适合贵重金属微细零件制造。针对隔离带方法的弊端,提出了半隔离带方法,在保证电铸微细金属零件尺寸精度的前提下,避免了贵重金属的浪费。另外,还采用电解液喷射方法实现了高电流密度电铸,缩短了电铸时间,进一步提高了电铸微细金属零件的尺寸精度。试验结果表明:采用半隔离带方法和高电流密度,可以有效提高金微细零件的尺寸精度,当电流密度提高到0.6A/dm2,金微细零件的尺寸精度可以达到5μm。     

蠕动式压电驱动微小型电火花加工装置的电极驱动方

针对蠕动式压电驱动微小型电火花加工装置提出了一种新颖的细分蠕动式的电极直接驱动方法和小幅振动式进给方式,使电极进给频率由原来的50Hz提高到250Hz,从而使加工效率大大提高.     

微细电解加工系统设计及实验研究

针对微细电解加工的特殊工艺要求研制了微细电解加工系统,包括机床本体及配套的电气控制系统,采取直接进给加工和周期循环加工两种不同的运动控制方案进行微细孔电解加工试验,并对结果进行比较分析。     

超声波马达技术及其应用

对超声波马达技术及其应用现状和发展前景做了介绍。     

矩形开口波导的数值分析

用矩量法(MOM)导出求解矩形开口波导口面等效磁流的公式,并在此基础上计算波导不同频率处的驻波系数、辐射方向图等参数。给出了BJ-100,BJ-58两种开口波导的计算结果,并据此讨论了等效磁流中不同模次所占的比例。计算结果表明,MOM计算结果与测试数据吻合良好。对单波导,口面分为5个窄条、每窄条基函数展开至5次即可较准确地算得驻波系数和辐射方向图等参数。     

精细金属网栅的制造方法及其研究进展

综述了精密机械加工、高能束加工、微细电火花加工、化学加工、电化学加工等多种精细金属网/栅制造方法的优缺点及其发展现状.因具有适用材料广泛、加工效率高、表面质量好、无机械切削应力、孔形不受限制等优点,掩模微细电解加工在精细金属网/栅制造方面潜力巨大.     

宏微复合进给机构及其在微细电火花加工中的应用

分析比较了几种现有进给机构的特性,说明了宏微复合进给机构的组成和工作原理,讨论了压电陶 瓷致动器的致动机理和制作时的注意事项。     

激光微细孔加工技术及其在航空航天领域中的应用

越来越多的产品向着微型化、精密化的方向发展.促使微细孔加工技术也得到了飞速发展.本文对当前世界上利用激光加工微细孔的技术及其在航空航天领域中的应用作了介绍.