新颖测试手段——电子束微探针

在分析测试芯片中，微探针已使用了ZO余年之久。但近几年来，世界上90％以上的先进半导体公司都配备了电子束微探针装置。预计在未来数年内，电子束技术在半导体行业中将会得到广泛应用。随着芯片几何尺寸的不断缩小，传统的机械式微探针已显得愈益不适应。其原因之一是微探针难以与亚微米线宽的金属层引线可靠接触。另一原因是，芯片中的节点电容已低至5～10fF，微探针产生的信号衰减已超出允许的范围。电子束微探针不存在上述问题。与普通的电子扫描显微镜一样，电子束微探针是用聚焦得颇细的电子来去扫描集成电路的表面，然后采集芯片…     

小卫星常用数据总线技术

从20世纪80年代开始,微电子技术的发展使得制造较高功能密度的小卫星(重量<500kg)成为可能,许多国家开展了相关研     

2012微电子与元器件计量测试研讨会在京召开CSCD

2012年12月20日,由工业和信息化部电子工业标准化研究院、中国半导体协会、国防科技工业微电子元器件一级计量站主办的＂2012微电子与元器件计量测试研讨会＂在北京顺利召开。国家质监局计量司宋伟副司长、陈红处长,工业和信息化部科技司韩俊副司长、技术基础处常利民处长,     

船载惯性测量单元姿态信息优化方法

随着海洋卫星通信技术的广泛应用,船载通信系统的需求量与日俱增。基于微电子系统的惯性测量单元主要用于测量船体姿态信息,实现姿态反馈与控制补偿,是船载卫星通信设备的核心器件。实际应用中通过卡尔曼滤波处理的惯性测量单元的姿态信息并不完善,经过分析惯性测量单元在运动过程中存在干扰性的有害加速度。分析了有害加速度的产生原因和对测量姿态的影响并提出姿态信息的优化方法。通过此优化方法可提升惯性测量单元的测量精度,增强船载通信系统的控制精度。     

从F－22看第四代战斗机机载设备制造技术

以Ｆ—２２战斗机为例，综合分析了第四代战斗机机载设备中一些关键产品的主要制造技术。如精密和超精密加工技术、航空微电子制造技术、光电及微型传感器制造技术、新型特种材料构件制造技术以及精密复杂零件的计算机辅助制造技术，从中反映了美国发展这些关键制造技术的现状。     

微机电系统技术及其在卫星中的应用

一、微机电系统(MEMS)技术概述MEMS技术的术语近几年来不仅在传感器技术、测控技术和微电子技术领域频繁出现,也在航天技术领域中不断出现。     

空管一次雷达的市场需求及发展

一、概述 空管一次雷达（PSR）是ATC系统监视空中飞行情况的重要信息源之一，是确保飞行安全、实现雷达管制和提高空域容量的基础。随着雷达技术的进步和微电子技术的快速发展，PSR的技术水平也获得了很大发展。尤其是进入20世纪90年代以来，随着射频大功率晶体管器件的成熟与商品化，PSR进入了全固态时代，国际上相继出现一批全固态、可无人值守的PSR，如美国西屋公司的ARSR-4雷达、雷声公司的ASR-IOSS雷达和ITT吉尔菲兰公司的PAR-2000雷达等。全固态PSR大量采用集成化、微电子化的设备，并增加独立的气象探测通道，从而在系统可靠性、稳定性、自动化和商品化水平上有很大提高，使PSR发展到一个更为实用的阶段。     

浅谈微组装技术的发展

介绍了微组装技术的基本概念和微组装技术国内发展概况，强调开展此项工艺预研工作的重要性。还介绍了微组装技术的组成、国内开展此技术遇到的难题，对如何开展微组装技术研究工作提出了一些建议。     

超宽带矩形微同轴滤波器制备及性能分析

在射频微系统对高性能超宽带滤波器的需求下,基于矩形微同轴制备技术研究了10GHz～50GHz的超宽带矩形微同轴滤波器的设计及制备。在矩形微同轴传输线的电路基础上进行电路实现,对超宽带矩形微同轴滤波器模型进行仿真试验,结果显示,在10GHz～50GHz工作带宽内插入损耗小于0.8dB,回波损耗优于17dB,带外抑制达到45dB。基于矩形同轴结构的制备流程经过九次光刻-电铸-平坦化过程及一次介质支撑结构光刻后完成十层滤波器样件的制备,测得制备的滤波器样件性能与仿真曲线基本吻合,在40GHz时插入损耗为0.6dB,回波损耗为21.6dB,在5GHz和55GHz时带外抑制分别为41.8dB和43.9dB。矩形同轴结构的低损耗、高频段等优点在该超宽带矩形微同轴滤波器中有良好的体现。