排序方式: 共有22条查询结果,搜索用时 15 毫秒
11.
研究并设计了一种新型的可应用于微光机电(MOEMS)陀螺的微位移及角度控制致动器。它包括高灵敏度压电陶瓷组件和控制电路,具有对微镜进行微米级位移和角秒级角度精确定位的功能。建立并完成了该致动器的结构模型和有限元仿真,提出了基于MOEMS技术的加工方法。 相似文献
12.
研究基于像增强型CCD(ICCD)的空间高分辨率微光成像系统的成像性能。通过理论推导及数学仿真的方法,对系统在微光条件下的能量传递、极限分辨力、信噪比以及调制传递函数进行分析计算。研究表明,系统在黎明照度条件下具有较好探测能力,通过对ICCD器件制冷可以有效提高系统信噪比,实现满月照度的探测成像。 相似文献
13.
14.
15.
微光机电系统在军事和民用领域的应用与展望 总被引:1,自引:0,他引:1
微光机电系统(MOEMS)是近几年在微机电系统(MEMS)中发展起来的一支极具活力的新技术系统,它是由微光学、微电子和微机械相结合而产生的一种新型的微光学结构系统。MOEMS是一种可控的微光学系统,该系统中的微光学元件在微电子和微机械装置的作用下能够对光束进行汇聚、衍射和反射等控制。从而可最终实现光开关、衰减、扫描和成像等功能。该系统把微光学元件、微电子和微机械装置有机地集成在一起,能够充分发挥三者的综合性能,不仅能够使光学系统微型化而降低成本,而且可实现光学元件间的自对准,更重要的是这种组合还会产生新的光学器件和装置。MOEMS的出现将极大地促进信息通信、航天技术以及光学工具的发展,对整个信息化时代将生产深远的影响。 相似文献
16.
17.
18.
重点阐述了微光机电系统(MOEMS)的基本制造工艺:硅微机械加工技术和LIGA技术,并介绍了几种典型的工艺应用。最后对其发展进行了展望。 相似文献
19.
20.
当微光物镜系统中产生杂散光后,将会降低物像的对比度,从而使系统分辨率降低、像质变坏。本文将从理论上加以分析,将杂光系数这一因子,引入于以A·ROSE理论为基础建立的探测方程式之中,并就荣光系数对系统分辨率的影响作了估算,再对有关资料数据进行分析处理,以期使理论与实际结合起来说明问题。 相似文献