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设计并搭建了一套微小通道沿程压力的测量系统,包括PMMA通道和压力方腔、微应变传感器及多通道应变仪等。利用注射泵的推进方法提供微通道静压,采用FCO510型高精度微差压计的测量值作为标准压力,通过多通道应变仪测量微通道方腔中各个应变片的应变值,从而建立标准压力和应变之间的标定函数。分别对3种微压芯片在80、70、60及50mL/min等4种不同流量下的压力分布进行了测量,压力分布具有良好的线性规律。不确定度分析表明压力误差的相对扩展不确定度范围为0.15%~6.82%,测量结果的有效性和可靠性较高。 相似文献
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由主标准器0.5~100mm三等量块、标准四方直角尺配套装置千分表等组成的标准装置,主要用于开展对精密模具叶片校验仪的校准。本文介绍了该装置对精密模具叶片校验仪的校准方法及相应的不确定度评定。 相似文献
969.
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