大型工件平面度平行度垂直度误差计算与评定方法

提出了一种实用的大型工件平面度、平行度、垂直度误差的计算与评定方法。这种方法适用于各种不规则、不连续的测量表面。评定程序采用最小二乘和最小条件法，搜素速度快，评定结果精度高。     

大厚度硅结构高精度干法刻蚀技术研究

增大敏感结构厚度是提高微机电陀螺性能的一个途径。对大厚度敏感结构,在刻蚀过程中易出现"长草"、"缩口"和"屋檐"等典型缺陷,同时刻蚀后侧壁垂直度、刻蚀均匀性较差,严重影响其尺寸精度。研究了刻蚀/钝化比、刻蚀阶段钝化气体通入时间和反应气体流量等工艺参数对刻蚀形貌的影响,提出了一种分步刻蚀的方法,获得了侧壁垂直度89.95°与片内均匀性3.4%的刻蚀结果。     

I型万能角度尺测量准确性的影响因素分析

通过对I型320°万能角度尺各测量面的平面度、直尺和基尺的平行度、直角尺外角的垂直度、零位正确性等影响测量准确性因素的分析,得出在测量中必须保证各项指标均在合格范围内才能得到精确测量结果的结论。     

方舱平面度与垂直度公差商榷

通过摘录有关方舱平面度、垂直度的标准要求,结合形位公差制定的一般规定和检测方法,对标准中方舱舱壁平面度和垂直度公差值的确定进行了比较和分析,提出了确定方舱平面度和垂直度公差值的建议。     

超量程位置误差基准桥接测量技术研究

以某类型专用检具为例,介绍了一种基于坐标测量机的利用基准桥接测量其位置误差的方法,对平行度和垂直度参数建立了数学模型并进行了计算推导,给出了实现测量的方法,提升了测量范围和测量能力,同时对测量结果不确定度进行了评定,证实了此方法的可行性。     

单轴旋转光纤捷联惯导系统坐标不对准误差分析

对单轴旋转光纤捷联惯导系统的坐标不对准误差进行了分析.首先研究了基于同等精度惯性器件条件下,利用旋转调制技术提高捷联惯导系统性能的原理;其次,针对旋转捷联惯导系统中非调制惯性器件误差的累积问题,对传统的旋转结构提出了合理的改进.由于旋转结构受机械加工工艺的限制,其机械表面存在一定的倾斜误差,导致器件所在坐标系不完全重合.文中研究了其中两种坐标系不重合的情况,建立了相应的惯性器件等效误差模型,并通过角速率积分的结果,分析了两种情况下不重合误差引起的惯导系统精度的影响.同时建立了不重合误差与系统姿态、位置误差之间的对应关系,通过仿真实验深入地分析其影响程度.仿真结果表明,随着惯性器件精度的降低以及运动条件的剧烈变化,不重合引起的系统精度急剧下降.     

测量垂直度时工件安装倾斜的修正

论述了用圆度仪测量工件端面相对自身轴线垂直度时工件安装倾斜对测试结果的影响,并编制了计算程序,以便在端面跳动测试数据中消除这一影响。通过实例验证了计算方法的正确性。     

三轴台中框轴系静态设计与装调(上)

论述了首次采用双列圆柱滚子轴承于三轴台中框水平轴系上,使三轴精密角运动台达到了三个轴摆角１″、两个轴垂直度１″的要求。     

用计算机评定平面对平面的垂直度误差

本文建立了平面对平面垂直度误差最小二乘评定法的数学模型,给出了数据处理程序,并利用微型电子计算机对一组采样数据进行处理,获得了误差值。