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飞秒激光直写技术在复杂三维微结构加工领域具有显著优势,而调焦是否精准直接影响了所加工结构的完整度.提出了在光路中临时置入调焦光源和物的图像调焦技术,通过调节物的位置使其成像面与激光聚焦面一致,从而通过清晰可分辨的成像状态间接反映激光聚焦状态.利用Zemax软件模拟分析了原飞秒激光光路与加入调焦光源和物的调焦光路,二者可实现相同加工物镜后工作距离与良好成像质量,证明了该方法的可行性.通过分析得到该过程的成像误差主要由成像镜头焦深(3.9 μm)引起,我们获得的理想调焦精度可达到1/2焦深以内.设计了单层高度为5 μm的二层圆柱结构,通过多次实验验证了所加工元件高度误差在1.5 μm范围以内,与理论分析一致,满足飞秒激光系统的调焦要求. 相似文献
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116.
浅谈温度变化对光学镜面的影响 总被引:2,自引:0,他引:2
环境温度变化将导致光学镜内的温度分布发生变化,文章分析了光学镜内不同的温度分布对其面形造成的危害,以及对光学系统成像质量的影响,对空间光学系统光学镜温度场设计具有一定参考价值. 相似文献
117.
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准直式地球模拟器锗准直透镜光学系统的设计 总被引:8,自引:0,他引:8
从视场设计出发 ,分析了锗基片的厚度和光学材料吸收特性对光学设计的影响 ,介绍了红外光学系统优化设计的方法 ,给出了设计结果 ,并与国内同类地球模拟器的光学特性进行比较 ,说明准直式地球模拟器光学系统设计是成功的。 相似文献
119.
文章简要介绍了超模式和斜模式采样的概念,结合超模式采样技术和斜模式采样技术,提出了一种新的传输型光学遥感器的采样方法,即超模式斜采样,该方法充分发挥了超模式和斜模式采样的优占、,在图像信噪比保持不变的情况下,地面采样间距大大缩短,遥感图像的空间分辨率可以大大提高。 相似文献
120.
文章介绍了实现超模式采样焦平面3种解决方案面临的技术难点,为避开器件问题提出了一种新的斜模式采样方法。以任意两维周期采样理论为基础分析了斜模式采样技术的物理原理,并通过实验手段验证了斜模式采样技术的可行性。试验结果表明:改变探测器推扫方向的采样间距符模式采样技术可以提高传输型光学遥感器图像的空间分辨率,该技术相对于超模式采样技术,工程实现上要简单。 相似文献