补偿式光纤双法布里—珀罗微位移测量系统

提出了一种能补偿环境影响的、插入光纤传光介质的新型微位移测量系统，介绍了其灵敏度的测量结果。由于采用并行双通道的结构，系统具有高准确度、抗干扰等特点。该系统适合于微位移（纳米级）测量，可用于检定其它高准确度位移传感器、几何量定位、微细加工表面轮廓测量以及转换成微位移量或光程差的其他物理量的测量。     

异型孔空心叶片壁厚检测的试验研究

发动机叶片的结构型式和制造误差，直接影响发动机的性能和使用寿命。运用超声波法和电涡流法，对两种不同材料和形式的试件进行了试验。电涡流法受到探头直径和试件几何尺寸的影响，测量误差大，超声波法由于存在测量盲区，测量厚度的下限受到限制。但测量值与实际值相关，若对探头加以改进，用于异型孔空心叶片壁厚检测是可行的。     

圆度仪被测工件的自动对中

对Ｙ９０２５—Ｂ型圆度仪中被测工件的自动对中部分作了较为详细的介绍，其中包括基本工作原理、数据采集、电机控制及有关的软件框图等。该系统能自动把被测工件的偏心调至微米级。     

小电流测量单元校准技术研究

在电子、航空航天领域及型号工程中小电流测试设备（如静电计、皮安表、源/测量单元、半导体精密分析仪等）,发挥着极其重要的作用,其电流测量分辨力达到fA级,接近其物理极限值。对这些高灵敏度、高分辨力的精密小电流测量仪器进行参数校准是一项新的计量难题。本文使用Fluke公司5440B型直流电压源和自行研制的高值电阻器,构成测试平台,可以对Keithley公司6517B型静电计（20pA～2μA电流量程）进行自动校准。软件采用Visual C++ 6.0利用校准算法对测量结果进行分析,解决了小电流测量单元校准的计量难题。     

双混频时差测量系统设计中的理论和技术问题

从分析双混频时差(DMTD)测量系统的测量误差着手,对系统设计和使用中常磁到的一些理论和技术问题进行了探讨,这涉及到公共源的影响、移相器的作用、自校和测量中的其它问题。     

工件表面轮廓均方根斜率的光散射测量

描述并确定具有明显纹理粗糙表面均方根斜率的光散射技术(均方根斜率是联合表面轮廓高度和波长特性的混合参数)。称为散射光锥法(The scattered light-conemethod)的该技术是基于激光角散射检测阵列(DALLAS——Defector Array for Laser LishtAngular Scattering),它用于测量粗糙表面散射光角分布的仪器。均方根斜率是从DALLAS光散射图象的角宽得到的。一般可以发现角宽(即估计的均方根斜率)对光的入射角和散射角变化相当大时是不敏感的。这些结果与表面材料无关,并且对正弦和随机粗糙表面都是有效的。介绍了散射光锥法的测量原理、实验、数据分析和几点结论。     

真空计量概述

近代真空技术作为一种实用的基础技术,由于它提供了稀薄的气体氛围和清洁的环境条件,获得了越来越广泛的应用。由此,对真空计量提出了不断增长的需要和发展。现在,它已成为计量学的一个新的独立分支。     

一种非接触光外差轮廓仪

介绍了一种纳米级非接触超高精度光外差轮廓仪。该量仪是基于普通光路的外差干涉仪,两束具有微小频差的激光束照射到制件表面:其中一束光被会聚后作为测量光针扫瞄制件表面;另一束光则被用作参考光束。这两束光经反射后形成干涉,所得信号的光程差与制件表面高度变化成正比。量仪的横向分辩力小于2μm,垂直分辩力小于1nm。制件不需要进行大的调整。制件表面同时亦被作为测量参考面。经光电转换后,信号由微机处理,从而快速完成测量、计算、显示与打印各种参数与图形。     

扭叶片型面在线检测的研究

以汽轮机700mm扭叶片为对象,在XK5040数控机床上,进行了型面误差在线检测的研究。     

高频大电压标准器

主要阐述了该标准器的基本原理,从理论上对结构补偿法进行了分析和数学推导,当R/Z_o=1.9～2.0之间时,具有最小的交直流差。设计了匹配的同轴热电转换标准器;进行了误差分析;给出了试验结果,说明该标准器交直流差的重复性和复现性是好的。