超精密车床主轴回转误差运动的动态测试

介绍了两点误差分离法动态测试超精密车床主轴回转误差运动的方法,建立了数学模型并进行了仿真,研制了测试系统。实验表明该测试系统操作方便,性能稳定,测试精度良好。     

大行程纳米级分辨率超精密工作台的发展方向

讨论了大行程纳米级分辨率超精密工作台设计中的关键技术,介绍了目前国内外典型的大行程超精密工作台所采用的设计方案、材料、导轨、驱动方式、测量反馈及控制系统。分析比较后得出:利用石英陶瓷材料、气浮导轨、直线电机非接触驱动、纳米光栅尺测量反馈和开放式数控系统等技术来组建大行程纳米级分辨率超精密工作台是比较理想的方案。     

超精密加工技术的现状和展望

以超精密加工在日本的发展概况,综述了超精密加工的现状和发展趋势。     

硬脆材料光滑表面超精磨削的研究

利用自行研制的专用小电流低电压脉冲/直流电解电源和非线性弱电解水基磨削液,在MM712OA精密平面磨床上制作了一套ELID磨削装置,对硬脆材料的ELID光滑表面磨削技术进行了系统的研究,获得了砂轮修整参数及磨削参数与光滑表面磨削粗糙度之间的关系。     

超精密研磨抛光方法

介绍了几种近代超精密研磨抛光方法的加工原理、特点、加工对象和应用。     

非接触式超精密研磨技术

名古屋工业技术研究所SP46型非接触式研磨机,研磨盘与工作轴以20～200r/min的转速作同向、高精度旋转,工作悬浮在研磨盘上,在研磨液的化学作用及微细粉末粒子的撞击下产生研磨作用。轴系皆采用液体动静压轴承,可加工Φ170mm的工件。该机可加工出表面粗糙度为2nm的硅片,加工Φ100mm、厚度为30mm的BK7光学玻璃,平面度为0031μm,表面粗糙度(均方根偏差)可达0.0038μm。特别适合微电子功能材料及光学平面的超精密加工,具有广阔的应用前景。     

ELID超精密镜面磨削钝化膜状态变化的研究

建立了ELID磨削系统的电解反应回路等效模型,提出用极间电流表征金属结合剂砂轮表面的钝化膜状态,分析了钝化膜在ELID超精密镜面磨削电解预修锐阶段、在线电解修整动态磨削阶段和光磨阶段的状态变化。     

不同转速下超精密车床主轴轴向振动的实验研究

针对HCM-Ⅰ型超精密车床,进行了主轴轴向振动随电机转速变化规律的实验研究,不同转速下主轴轴向振动信号的傅立叶(FFT)谱表明,主轴系统与电机同频振动,在转速为700～800r/min时振动最大,该转速范围之外的主轴轴向振动幅值随转速的提高而增大。     

特材镀镍六面体超精密研磨方法研究

特材镀镍六面体是安装和调整各种惯性仪表的基准,六面体的工作平面表面粗糙度小于Ra0.02μm,平面度不大于0.2μm,六个面相互的垂直度和平行度误差不大于2″.系统介绍了特材镀镍六面体的研磨方法,包括研磨剂的配制、研磨平板的研修、六面体的研磨过程,并且重点研究了不同研料对镍层精密研磨表面质量的影响.研究结果表明,粒度W0.5的自制研料研磨加工的镍层表面粗糙度在Ra0.015 μm～0.02 μm之间,表面无划伤,研磨性能优于刚玉研料和金刚石研料.     

超精密加工技术在新形势下面临的任务

国防武器装备系统的需求推动了超精密加工技术的发展,本文首先从描述当今先进武器系统装备的特点出发,介绍了超精密加工技术在其中的应用。并在此基础上提出了我国超精密加工技术的发展思路以及近期面临的重要研究课题。