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飞秒激光直写技术在复杂三维微结构加工领域具有显著优势,而调焦是否精准直接影响了所加工结构的完整度.提出了在光路中临时置入调焦光源和物的图像调焦技术,通过调节物的位置使其成像面与激光聚焦面一致,从而通过清晰可分辨的成像状态间接反映激光聚焦状态.利用Zemax软件模拟分析了原飞秒激光光路与加入调焦光源和物的调焦光路,二者可实现相同加工物镜后工作距离与良好成像质量,证明了该方法的可行性.通过分析得到该过程的成像误差主要由成像镜头焦深(3.9 μm)引起,我们获得的理想调焦精度可达到1/2焦深以内.设计了单层高度为5 μm的二层圆柱结构,通过多次实验验证了所加工元件高度误差在1.5 μm范围以内,与理论分析一致,满足飞秒激光系统的调焦要求. 相似文献
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83.
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精密高刚度铰链作为六自由度并联激励平台中的关键组件,其性能高低对激励台的控制精度有直接影响。针对铰链所需满足的高刚度、高基频和无间隙等要求,文章提出了基于虎克铰结构的铰链设计方法。首先根据铰链所处的工况确定选用圆锥滚子轴承作为旋转支撑部件,并通过对轴承的配置和预紧实现无间隙振动运动的要求,从而确定了铰链结构形式。然后,利用有限元法校核了结构的刚度与基频,进而完成铰链结构方案和样机制造,并将样机集成于激励台中。最后,开展了铰链动态特性试验和激励台振动控制试验,分别获取了铰链的基频和激励台控制响应。结果表明,铰链可满足激励台工作频段内的使用要求,铰链设计合理。 相似文献
85.
针对高超声速滑翔飞行器(Hypersonic glide vehicle, HGV)机动性强、轨迹预测困难的问题,选取气动加速度作为预测参数,提出了一种基于集合经验模态分解和注意力长短时记忆网络的HGV轨迹智能预测方法。首先,以HGV六自由度运动方程为基础,分析了其机动特性和气动力变化规律,建立了动力学跟踪模型,对气动加速度进行实时估计;其次,利用集合经验模态分解对估计的气动加速度进行分解和重构,减弱噪声影响,避免对预测模型的干扰;最后,利用去噪后的气动加速度数据对注意力长短时记忆网络进行训练,进而预测未来气动加速度数据并重构HGV未来轨迹,实现轨迹的在线预测。实验仿真表明,该方法能有效预测HGV机动轨迹,预测精度高、稳定性好。 相似文献
86.
随着我国航天事业的不断发展,地面卫星测控网也日益完善,呈现出数量多、分布广、频段宽、工作体制多等特点。为提高航天测控装备标校的精度和效率,克服传统标校方式所具有的造价高、操作繁杂等缺点,研制了一套车载机动式、基于无人机(UAVs)平台的航天测控装备标校系统。该系统采用实时载波相位差分定位(RTK)技术,配备多类高度集成小型化目标载荷,可对地面统一测控、雷达和光电装备进行精度鉴定以及日常进行大动态范围标校和训练等工作。首先,介绍了系统的工作原理、系统组成及精度鉴定数据处理流程;其次,基于外场实验,给出了该系统的鉴定效果;最后,相较于目前测试性能单一的标校系统,该系统具有集成度高、机动性强、覆盖频段广、可完成性能实验多等优点,有更好的使用和推广价值。 相似文献
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性能精度是液体火箭发动机的一项重要指标,对于上面级发动机性能精度尤其重要.以某型泵压式上面级发动机为研究对象,利用影响分析树的方法识别了发动机生产、测试、性能调整过程中影响性能精度的干扰因素;针对所识别的干扰因素,通过仿真计算,得到了其偏差对发动机推力和混合比的影响.根据统计学原理,推导得到多项干扰因素影响概率的计算模型,并利用小子样样本对计算模型和程序的正确性进行了验证.利用该概率计算模型,根据置信水平要求,确定了多项干扰因素对发动机性能的极限偏差影响.根据发动机性能精度要求,分解得到了单个干扰因素的控制目标. 相似文献
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通过对铌钨合金性能的研究,得到了铌钨合金一次旋压最大减薄率,采用变厚度平板旋压毛坯,合理分布两次剪切旋压变形量和各点壁厚变薄率,控制旋压过程,应用仿真软件对翻边成形进行仿真,掌握了薄壁大尺寸铌钨合金喷管精密旋压及翻边成形技术. 相似文献
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