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大量程纳米分辨率超精密测径仪 总被引:3,自引:0,他引:3
提出了一种新型可以测量孔和轴直径的超精密测量仪,该超精密测径仪主要由炫耀光栅和气浮导轨及红宝石探头组成,采用接触式绝对测量方法。介绍了环境温度的控制和减小环境振动的手段,以保证测量的精度和重复性。这种新型测径系统分辨率可以达到1nm,量程范围可达 0~100mm。 相似文献
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介绍了一种用于飞机武器发射时测量发动机进口动态温升时序的机载小惯量探针,以其独特的研制方法,较好地解决了机载小惯量测温装置、频响与可靠性兼顾这一测试难题,并在武器发射时,成功地用来评价发动机工作稳定性的影响。 相似文献
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描述了角位移传感器的迟滞、重复性、非线性等主要技术指标的校准方法、校准步骤和数据处理方法、测量不确定度评定方法。 相似文献
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