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X射线光刻机中应用的精密定位工作台 总被引:2,自引:0,他引:2
嵇钧生 《航空精密制造技术》1998,(3)
为适应超大规模集成电路器件的发展,微电路图形的特征线宽愈来愈细的特点,发展了电子束光刻及X射线光刻,而X射线光刻由于其极高的分辨率,对未来的大规模集成电路器件的制作具有很大的应用潜力。随之而来的是要有高精度的定位工作台,以保证高套刻精度的要求。 相似文献
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利用CFX软件对某航空发动机应急油路内部流动进行模拟,通过计算得到该航空发动机应急油路喷嘴出口压力随引射角度、引射距离、引射压力及喷嘴安装孔直径的变化规律。 相似文献
445.
电路模拟吸波材料有一定的频率选择特性,电磁波有效损耗的带宽通常比较窄,通过多层电路屏、掺杂电损耗介质、磁损耗介质层组合、磁电损耗组合的方法,对电路模拟结构吸波材料在2~18GHz区间电磁损耗带宽的拓展进行了初步探索。结果证明:四种方法都能够提高电路模拟吸波材料的有效吸波带宽,并能够不同程度地提高材料的吸波效率。多层电路屏、掺杂电损耗介质的多层电路屏、组合磁损耗介质层的多层电路屏、组合磁损耗介质层和电损耗介质的多层电路屏,其反射率≤-5dB的带宽较单层电路屏的1.2GHz分别增加了6.4、10.6、9.6、10.6GHz,最小反射率分别达到-8、-10、-12、-25dB。 相似文献
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提出了一种机场助航灯光故障在线巡检系统,可以对机场助航灯具开路、输入功率过小、隔离变压器桶进水、隔离变压器二次开路等故障进行在线巡检:通过在线巡检,机场助航工作人员可发现灯具故障并及时进行维护.从而保障飞机起飞降落的飞行安全,提高机场助航灯光维护的工作效率。 相似文献
449.
电子电路的统计分析在电子产品批量生产前对产品元器件容差的选取、产品成品率和生产成本预测上有很好的指导意义。蒙特-卡罗分析方法是电子电路常用的统计方法之一,采用计算机模拟的蒙特-卡罗法通过对电子电路的性能统计试验来求得其性能的期望值、标准差等统计参数,并能从进一步求得的直方图上预测该性能处于技术指标允许范围之内的产品合格率。通过统计分析结果可以选取可靠性高、成本低的设计方案,以实现电子电路的优化设计。本文以滤波器为例说明在OrCAD/PSpice9环境下进行电路统计分析的方法和应用。 相似文献
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