双混频时差测量系统设计中的理论和技术问题

从分析双混频时差(DMTD)测量系统的测量误差着手,对系统设计和使用中常磁到的一些理论和技术问题进行了探讨,这涉及到公共源的影响、移相器的作用、自校和测量中的其它问题。     

工件表面轮廓均方根斜率的光散射测量

描述并确定具有明显纹理粗糙表面均方根斜率的光散射技术(均方根斜率是联合表面轮廓高度和波长特性的混合参数)。称为散射光锥法(The scattered light-conemethod)的该技术是基于激光角散射检测阵列(DALLAS——Defector Array for Laser LishtAngular Scattering),它用于测量粗糙表面散射光角分布的仪器。均方根斜率是从DALLAS光散射图象的角宽得到的。一般可以发现角宽(即估计的均方根斜率)对光的入射角和散射角变化相当大时是不敏感的。这些结果与表面材料无关,并且对正弦和随机粗糙表面都是有效的。介绍了散射光锥法的测量原理、实验、数据分析和几点结论。     

热流计1:1分度装置与敞开式大平板分度装置分度差异的研究

分析了所研制的1:1热流计分度装置与常规的敞开式大平板热流计分度装置由于分度方法不同而导致的分度差异,并用差分方法对这种差异进行了计算。理论计算和实际测试结果都表明:对同一热流计,1:1分度装置的分度值比敞开式大平板分度装置的分度值高出20％左右。     

真空计量概述

近代真空技术作为一种实用的基础技术,由于它提供了稀薄的气体氛围和清洁的环境条件,获得了越来越广泛的应用。由此,对真空计量提出了不断增长的需要和发展。现在,它已成为计量学的一个新的独立分支。     

8mm源线性度动态测试设备的研制

为了完成8mm源线性度动态实时测试的目的,提出了线性度动态实时测试方法。叙述了测试设备组成原理、测试方法、测试结果,并对影响测试精确度的各种误差因素进行了分析和确定。给出设备线性度测试的总不确定度小于万分之三。这项工作填补了国内外在这方面的空白。     

一种非接触光外差轮廓仪

介绍了一种纳米级非接触超高精度光外差轮廓仪。该量仪是基于普通光路的外差干涉仪,两束具有微小频差的激光束照射到制件表面:其中一束光被会聚后作为测量光针扫瞄制件表面;另一束光则被用作参考光束。这两束光经反射后形成干涉,所得信号的光程差与制件表面高度变化成正比。量仪的横向分辩力小于2μm,垂直分辩力小于1nm。制件不需要进行大的调整。制件表面同时亦被作为测量参考面。经光电转换后,信号由微机处理,从而快速完成测量、计算、显示与打印各种参数与图形。     

扭叶片型面在线检测的研究

以汽轮机700mm扭叶片为对象,在XK5040数控机床上,进行了型面误差在线检测的研究。     

用N2分子的CARS方法进行快速温度测量

提出一种用激光探测器韵CARS测量气体温度的新方法。根据N_2分子的Q支谱线,用两个光电倍增管信号强度比代替多道分析仪来进行瞬态温度测量,其特点是利用廉价的光学和电子设备,进行高频激光脉冲的实时和现场温度测量,此方法应用到燃烧器上,给出了合理的测温结果。     

一种新的温度补偿方法—零点浮动法

介绍了一种新的温度补偿方法——零点浮动法的原理和应用。该方法基于差分原理和坐标浮动法,适用于采用差分原理进行温度补偿的各种自动测试系统。     

高频大电压标准器

主要阐述了该标准器的基本原理,从理论上对结构补偿法进行了分析和数学推导,当R/Z_o=1.9～2.0之间时,具有最小的交直流差。设计了匹配的同轴热电转换标准器;进行了误差分析;给出了试验结果,说明该标准器交直流差的重复性和复现性是好的。