硅微加速度计系统设计技术

本文探讨了硅微加速度计的系统设计方法,采用专用MEMS设计软件建立了“三明治”式硅微加速度计自顶向下的系统模型,该模型对于硅微加速度计的系统设计和优化具有指导意义。通过优化改进设计,目前硅微加速度计零位重复性已达到2×10-4g（3个月,1σ）,正在开展探月二期工程的应用研究。     

硅微加速度计控制系统设计

由于静电场的负刚度导致控制回路系统的不稳定,因此静电力闭环硅微加速度计控制系统设计是硅微加速度计技术的关键核心技术,也是硅微加速度计设计的难点技术之一。在硅微加速度计项目研制过程中,我们解决了仪表回路系统的稳定性问题、高增益和带宽的问题,保证了仪表启动的快速性、精度和稳定性。     

MEMS惯性器件及系统发展研究综述

将MEMS惯性系统分为ISA、IMU和INS三级,分别介绍了国内外的研究概况,并对MEMS INS的发展趋势进行了讨论,供广大惯性导航研究人员参考。     

基于微电铸工艺的摩擦接触式微型惯性开关

针对微型惯性开关闭合时间短、接触弹跳问题,设计了增强接触效果的摩擦接触式微型惯性开关.基于MEMS惯性开关工作原理,建立了开关物理模型,研究了不同类型惯性开关的闭合性能,提出了增强接触的摩擦接触方法,设计了摩擦接触式微型惯性开关的结构.为了对比接触性能,基于UV–LIGA叠层光刻和精密微电铸工艺,研制了3种不同类型的惯...     

一种新型MEMS移相器设计

建立Ka波段分布式MEMS移相器的等效电路,设计基于此模型的分布式MEMS移相器,并对其反射损耗与插入损耗进行优化。仿真结果表明,该模型在4GHz工作带宽内反射损耗小于-15dB,在10GHz带宽内插入损耗大于-2dB,单桥相移达到35°。     

智能传感器—微机在惯性器件中的运用

本文论述了采用我校研制的SCE-48单片机开发装置,开发MCS-48系列单片机,使之与加速度计相结合,并研究提高微重力加速度计性能的具体方法。对加速度计的数学误差模型进行了测定,试验分析表明,加速度计与单片机组合后,其精度、零偏和非线性等均有明显改善。本文的研究方法也可推广到陀螺仪和其它传感器。     

梳状电容式微加速度计温度性能优化

零偏温度漂移是影响高精度MEMS加速度计整体性能的关键指标，敏感结构机械零位的温度漂移和电路零位(电容检测电路）的温度漂移是加速度计零偏温度漂移的直接原因。分析了影响加速度计零偏温度系数的3种主要影响因素，提出了某型加速度计伺服电路温度性能测试筛选方法，有效减小了电路零位的温度漂移。采用了全硅表头，同时对表头封装粘接方式进行优化，大幅减小了表头机械零位的温度漂移。经过这些优化措施后，加速度计的温度性能得到了明显改善，零偏温度系数由1.3mg/℃减小到0.5mg/℃，零偏的常温稳定性(1h）达到0.108mg，重复性(6次）达到0.141mg。     

General Relativity Accuracy Test (GReAT): New configuration for the differential accelerometer

We presents the results of an activity concerning the test of the Einstein Weak Equivalence Principle with an accuracy of about 5 × 10⁻¹⁵. The experiment will be performed in an “Einstein elevator” using a differential accelerometer with a final sensitivity of about 10⁻¹⁴ g_⊕/Hz^1/2. The differential accelerometer is spun about an horizontal axis at a frequency in the range 0.5–1 Hz in order to modulate, during the free fall, the signal from a possible violation of the Equivalence Principle. In the paper the perturbing effects with the same signature of the possible violation are analyzed and constrained. The experimental results obtained in the laboratory with a first prototype of the differential accelerometer are discussed, comparing this results with those obtained using a new prototype.     

加速度计温控系统被控对象建模技术研究

加速度计工作过程中,其内部与外界环境存在温度梯度,针对温度变化影响加速度计参数的问题,提出了一种加速度计温控系统被控对象建模的方法。进行了多工作点加速度计升温和降温试验,采用递推增广最小二乘法对被控对象模型进行了辨识,建立了加速度计温控系统被控对象模型和降温模型,计算结果表明,3min后温控系统被控对象模型曲线残差在-0.5~0.5℃之间,降温模型曲线残差在-0.15~0.15℃之间,满足系统对加速度计性能需求,表明了方法的有效性。     

基础振动影响下微g加速度计静态数学模型辨识

以从俄罗斯引进的低频微g加速度计校准装置为基础,分析了基础振动对微g加速度计校准结果的影响,给出了消除基础振动噪声的方法及在该种情况下加速度计静态数学模型的辨识方法.