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11.
用一个由恒微测力并经精确校准的气浮LVDT传感器和相应软硬件组成的测量系统对非球面加工工件表面进行在机测量。用测得的数据进行曲线拟合,并与刀具的实际编程轨迹相比较。经计算机处理后,将补偿信息反馈到数控系统,并将得到的工件面形精度测量结果以图形的方式显示在显示器上。  相似文献   
12.
基于超精密机床的LVDT在线检测系统的研究   总被引:3,自引:0,他引:3  
在线检测系统可以实现加工测量一体化,避免工件重复装卡对加工精度的影响。本文主要介绍了在线检测系统的构成、LVDT测头精度的校正以及球面测量面型精度的评估方法。  相似文献   
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