内连导线线宽对沿晶微裂纹演化的影响

基于应力诱发表面扩散的经典理论,用有限元法模拟了线宽对铜内连导线中沿晶微裂纹演化的影响。数值模拟结果表明:随着线宽的减小,椭圆形沿晶微裂纹存在分节与不分节两种演化分叉趋势,且演化分节存在临界线宽珔hc;当珔h≤珔hc时,沿晶微裂纹分节成3个新的沿晶微裂纹;当珔h珔hc时,沿晶微裂纹圆柱化。沿晶微裂纹分节时间^tf随线宽的减小而减小,即减小线宽会加速微裂纹分节。临界外载珋σc与临界形态比βc随线宽的减小而减小,即减小线宽有利于沿晶微裂纹分节。临界外载和临界形态比随晶界能与表面能比值的增大而减小,且沿晶微裂纹比晶内微裂纹更易发生分节。     

Analysis of the current density characteristics in through-mask electrochemical micromachining (TMEMM) for fabrication of micro-hole arrays on invar alloy film

Invar alloy consisting of 64% iron and 36% nickel has been widely used for the production of shadow masks for organic light emitting diodes(OLEDs) because of its low thermal expansion coefficient(1.86 ? 10à6cm/°C).To fabricate micro-hole arrays on 30 lm invar alloy film,through-mask electrochemical micromachining(TMEMM) was developed and combined with a portion of the photolithography etching process.For precise hole shapes,patterned photoresist(PR) film was applied as an insulating mask.To investigate the relationship between the current density and the material removal rate,the principle of the electrochemical machining was studied with a focus on the equation.The finite element method(FEM) was used to verify the influence of each parameter on the current density on the invar alloy film surface.The parameters considered were the thickness of the PR mask,inter-electrode gap(IEG),and electrolyte concentration.Design of experiments(DOE) was used to figure out the contribution of each parameter.A simulation was conducted with varying parameters to figure out their relationships with the current density.Optimization was conducted to select the suitable conditions.An experiment was carried out to verify the simulation results.It was possible to fabricate micro-hole arrays on invar alloy film using TMEMM,which is a promising method that can be applied to fabrications of OLEDs shadow masks.     

铣削参数对7055-T6铝合金耐腐蚀性的影响

文摘研究了铣削工艺参数对切削力、表面粗糙度、轮廓与形貌、自腐蚀电位和电流密度的影响。结果表明:随着切削速度的增大,切削力与表面粗糙度呈现先增大后减小再增大的变化规律;随着轴向切深的增加,切削力与表面粗糙度都呈增大的趋势;铣削后刀面对已加工表面的挤压改善了铝合金的腐蚀性能;切削转速为4 000 r/min,轴向切深为0.25 mm时,加工表面耐腐蚀性能最优;在较大的轴向切深下,已加工表面易产生微裂纹,而导致腐蚀加剧。     

基于电化学沉积的高深宽比无源MEMS惯性开关的研制

基于电化学沉积技术在金属基底上制作了一种新型的无源MEMS惯性开关。针对高深宽比、细线宽微电铸用光刻胶模具制作过程中,由于SU-8胶膜严重侧蚀导致的胶膜制作困难、质量低下的问题,进行了紫外光刻试验研究。试验研究了不同曝光剂量和后烘时间对SU-8胶光刻效果的影响,优化了光刻工艺参数。采用降低曝光剂量和延长后烘时间相结合的方法解决了高深宽比、细线宽SU-8胶膜制作困难的问题,制作出高质量的微电铸用光刻胶模具。最后,在上述试验结果基础上制作了一种高深宽比、无源MEMS惯性开关。其外形尺寸为3935μm×3935μm×234μm,其中最细线宽12μm,单层最大深宽比达10∶1,多层最大深宽比达20∶1。     

航空发动机机匣T型槽加工技术

叙述了航空发动机机匣T型槽的主要结构和技术要求 ,并以加工实例介绍了成组加工技术和数控加工技术     

波音737尾段组件的装配和精加工技术

从波音737尾段中的得克萨斯星组件的工程结构、技术要求、工装、关键尺寸的加工控制和刀具选择等方面阐述了由沈飞公司转包生产的得克萨斯星组件的装配和精加工工艺。     

机载雷达罩FSS阵图加工的三维实体仿真

采用VC和OPENGL实现了雷达罩FSS阵图的加工仿真环境。建立了刀具扫描体模型和雷达罩的 全Z-Buffer模型,利用实体间的减运算实现了FSS阵图加工过程中的三维实体图形仿真。     

一种新的五轴加工干涉处理算法

根据雕塑曲面的五轴加工特点 ,对干涉进行了分析研究 ,提出了一种新的干涉处理算法 :用均匀分布在刀具表面的直线与逼近加工曲面的一系列三角片求交 ,来检查及修正干涉。计算实例表明 ,这种算法稳定、可靠 ,在雕塑曲面五轴加工编程中 ,具有重要的实用价值     

飞机机翼翼梁类零件变形控制方法研究

翼梁类零件作为机翼装配的定位基准零件,如何有效减小其在加工中的变形,提高加工精度是一项重 要工作。提出一种针对翼梁零件在加工过程中出现的平面度翘曲变形现象的控制方法,根据飞机机翼梁类零 件的工艺特点,对生产现场零件的实际变形量进行统计,分析翼梁类零件变形趋势、变形量及主要影响因素;采 用改进加工方案,控制加工变形等方法减少梁类零件变形。结果表明:本文所提方法能够有效提升零件在加工 过程中的平面度值,使梁类零件的变形得到明显改善。     

基于宏程序的外球面粗精加工

目前,小内存的数控机床仍然是我国机床的主流,使加工程序变得简洁,对实际加工有着很重要的意义。宏程序的应用可以大大简化编程,本文通过实例介绍了数控铣削加工外球面的宏程序。