MEMS微结构粘附问题研究

阐述了表面工艺制造MEMS时造成粘附现象的主要方面,并对其进行了完整的理论分析,得出粘附力的大小与器件所处环境的湿度、温度和结构的材料、表面情况以及相对运动等因素有关,并简介了各种技术方法在结构防粘附中的应用。     

几种MEMS分立式微变形镜的设计与性能比较

采用形状函数法描述变形镜校正时的曲面,从适配误差、Strehl比、加工工艺性三个方面比较了4种不同单元排列方式的微变形镜。结果表明方形排列的微变形镜设计简单,需驱动电压较低,但波前校正性能较差;圆形微变形镜性能最优,但设计复杂,需驱动电压最高。     

微小型飞行器的MIMU系统结构设计方法

针对微小型飞行器安装空间小、承载能力弱的特点,提出一种“T”型结构的微惯性测量单元（MIMU）系统设计方法,采用基于微机电系统（MEMS）技术的新一代微型惯性器件,在深入分析MIMU结构设计基本原则和方法的基础上,设计加工了“T”型支撑结构并组成了实际系统。该MIMU系统充分利用了空间,大大地减小了体积和重量。有限元分析表明：该MIMU力学性能较高,所研制的实际系统实现了微小型飞行器的自主飞行,各性能参数满足要求,是一款适用于微小型飞行器的MIMU。     

微机电系统的国防应用及制造技术发展述评（上）

微机电系统技术是国示上８０年代后期以来发展迅速的一项新兴高技术,现在和潜在应用说明它将对国防武器装备产生重大影响,微机机械制造技术和封装,组装,测试技术是微机电系统赖以发展的基础,目前,许多工业发展发达国家已将微机电系统及其制造技术列为本世纪末和２１世纪初国家重点支持和发展的关键技术,本文集中对国防应用有重要意义的微机电系统及其制造技术。     

MEMS热膜式壁面剪应力传感器微弱信号检测

MEMS热膜式壁面剪应力传感器的输出信号是带有基础电压的微弱电压信号,无法通过放大器直接放大的方法实现高精度测量。文章提出在输出信号放大前增加信号平衡环节,在保留有效信号的前提下减小基础电压,再通过放大的方法实现其高精度测量,有效解决了MEMS热膜式壁面剪应力传感器微弱信号检测的难题。文章介绍了MEMS热膜式壁面剪应力传感器微弱信号检测的技术方案、关键技术、测试检验及试验应用实例。     

变形翼的分布式协同控制方案

搭建了一个基于相互作用的智能体阵列的变形翼模型。针对该模型,提出了一种分布式协同控制方案,以驱动翼面准确平滑地变形至期望翼型。分析变形翼系统在采样通信约束下的稳定性,给出了基于Lyapunov-Krasovskii稳定性理论的稳定性判据。利用锥补线性化方法,提出了控制器设计的算法。最后使用Matlab进行变形翼的仿真,结果证明了提出方法的可行性。     

某型发动机壳体同心度计算和绘图管理信息系统

为解决传统的发动机壳体同心度检查存在的速度慢和偏差大等问题,开发了发动机壳体同心度计算、绘图管理信息系统.介绍了该系统的功能设计情况,重点介绍了如何利用Powerbuildert和Visual basic实现系统的绘图功能.     

基于Internet机械产品实时设计系统的参数化设计研究

为了使Internet充分服务于机械产品的开发,在研究了当前参数化CAD技术之后,提出一种基于Internet的实时协同设计实现方案--"亚铃式"异地同步协同设计系统中有关机械零件的参数化设计方案,把图形的绘制等大量工作放在客户端,只在网上传送少量的参数,具有网络带宽占用量极小,实时效果好的特点.以齿轮为例,讨论并实现了该零件网上实时协同参数化设计的过程,验证了该方案实施的可行性.     

基于能量使用效能的军用飞机机电系统评估研究

针对军用飞机机电系统论证和设计中,缺少评估系统代价和设计冗余的方法和指标,通过开展飞机机电系统的能量使用效能分析,提出一种通过量化加权燃油代偿损失、电能利用率、液压能利用率、燃油热沉利用率等基本指标计算的效能综合指标;在此基础上,提出了军用飞机机电系统能量模型架构构建方法,并研究明确了军用飞机机电系统的能量使用效能评估流程。上述效能综合指标和评估流程,能够为后续军用飞机型号机电系统的论证和原理方案评估提供有力的量化方法支撑。     

GPS失锁时基于神经网络预测的MEMS-SINS误差反馈校正方法研究

GPS信号失锁时,MEMS-SINS组合GPS导航误差会随着时间迅速积聚而无法导航.提出一种基于RBF神经网络预测的MEMS-SINS误差反馈校正方法,GPS有信号时对神经网络进行训练,GPS信号中断时用训练好的RBF神经网络预测MEMS-SINS的导航误差.地面车载跑车试验,证实了训练后的RBF神经网络能很高精度地逼近MEMS-SINS/GPS组合导航系统输入与输出间的关系,在4个50s以内的GPS人为失锁过程中,该方法导航结果与参考系统比较,平均位置误差为3.8m,平均速度误差为0.6m/s,平均姿态误差为0.5°.