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181.
梳齿型微机电系统(MEMS)陀螺的释放要求结构具有垂直度高、释放过程沉积聚合物少的特点,通过优化深硅刻蚀的工艺参数,包括钝化气体八氟环丁烷(C4F8)的流量、衬底温度、刻蚀气体六氟化硫(SF6)的流量和钝化气体C4F8的压力,实现了结构垂直度为90.0°、支撑层表面沉积物厚度为87.1nm的梳齿结构释放工艺。深硅刻蚀工艺的优化为高性能MEMS陀螺的加工提供了基础。  相似文献   
182.
基于抗噪声ICA的高光谱数据特征提取方法   总被引:3,自引:0,他引:3  
特征提取是高光谱数据应用的一个重要环节,用于将高光谱数据中具有特殊性质的地物分离出来并去除冗余信息.提出了一种使用独立成分分析(ICA,Independent Component Analysis)进行高光谱遥感地物特征提取的方法.为了解决ICA对噪声过分敏感的问题,采用最大噪声分量(MNF,Maximum Noise Fraction)算法替代传统的主成分分析对数据作降噪处理,由MNF引出的不完全独立成分分析(UICA,Undercomplete ICA)在不牺牲特征提取能力的情况下能够获得很高的运算效率.给出了HYDICE和PHI的数据试验结果,分别测试了算法在时间效率和特征提取能力方面的性能,证明了该算法具有预期的性能.  相似文献   
183.
采用计算流体力学方法对用于激光辐照热效应实验研究的高亚声速流场模拟装置的近壁流场进行了数值计算,分别针对靶材固壁为平面和弧面的情况比较了实验区无侧板和有侧板时的流场品质,结果表明侧板与靶材固壁构成的半开放槽道能够形成更大范围的均匀流实验区。根据数值计算优化的实验区结构参数研制了流场模拟装置,流场校测结果与数值计算符合良好,流场品质能够满足激光辐照热效应实验研究的要求。  相似文献   
184.
探讨了高硅氧玻璃纤维复合材料切削加工的特点,分别用不同刀具材料的刀具和不同加工参数对高硅氧玻璃纤维复合材料进行了切削试验,得出了最佳刀具材料是立方氮化硼(CBN),并总结出了最佳的切削参数。  相似文献   
185.
程林  孙姝  谭慧俊  张宇超  何小明 《推进技术》2017,38(9):1937-1942
为了研究一种新型的直缝式等离子体合成射流激励器,采用高速纹影技术和电参数测量的方法,对激励器的瞬态流场特性和放电特性进行了研究。实验结果表明:在相同出口面积的情况下,直缝式等离子体合成射流激励器的初始射流速度是直孔式激励器的1.4倍。直缝式激励器速度衰减更快,喷气时间更短,和外部气流的动量交换更加迅速。实验中首次对直缝激励器的三维流场进行描述及分析,发现其前驱激波及射流形态具有更好的平面度,存在较大的均匀区。直缝式等离子体合成射流激励器在提高工作频率、扩大流动控制区间等方面具有一定优势。  相似文献   
186.
卢玲  冯春祥 《宇航材料工艺》1995,25(6):10-15,27
综合叙述了国外近年来在高耐热性SiC、Si3N4纤维方面的研究进展。通过改进不熔化处理方法,可以降低纤维中的氧含量,并显著提高的性能;而在纤维制造过程中的先驱体合成或不熔化处理等阶段引入导无素,如硼,已制得高强高模,耐高温的SiC、Si3N4陶瓷纤维。  相似文献   
187.
本文论述了在我国建造低速增压风洞的重要性和必要性,同时还介绍了国外低速高雷诺数风洞的发展现状,并提出了衡量现代生产性风洞性能的标准,给出了正在建造的我国低速增压风洞的主要技术性能及设计和建造中的关键技术。  相似文献   
188.
在高精密小电阻的测量过程中,由于接触电阻、测量线电阻及测量条件等都会对其测量结果产生不可忽视的影响,因此,选择合适的测量方法对提高测量结果的置信度尤为重要。本文着重介绍了用恒流源和数字电压表间接测量高精密小电阻的具体方法,对其测量结果的不确定度进行了分析与评定。  相似文献   
189.
鲜勇 《飞行力学》2006,24(4):50-52,56
分别讨论了两种通过飞行时间确定爆高的方法:解析计算修正法和时间偏导数法,这两种方法都是通过计算延迟时间来确定爆高,具有自主性强、可靠性高的特点。计算了两种方法在不同干扰条件下的结果,分析了造成计算偏差的原因。计算结果表明,两种方法的计算误差都非常小,均可应用于弹道导弹爆高确定。  相似文献   
190.
《航空计测技术》2006,26(1):61-61
国务院近日发布了《国家中长期科学和技术发展规划纲要》,高精确度和高稳定性的计量基标准和标准物质体系被纳入纲要中,这是继第一个五年计划后,计量科技再次被列入国家科技发展的规划中,对我国计量事业发展具有深远的战略意义。  相似文献   
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