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201.
在微型设备和宏观尺度的真空环境中,非均匀温度场会引起稀薄气体流动,且浸没在气体中的结构会受到辐射力。文章采用直接模拟蒙特卡罗(DSMC)方法结合Cercignani-Lampis(CL)气?面相互作用模型,研究法向能量调节系数(NEAC)和切向动量调节系数(TMAC)对一对冷热微梁周围稀薄气体流动特性的影响。研究结果表明,流场结构、传热特性、压力分布和辐射力特性对表面调节系数的变化高度敏感——在单独改变冷梁表面调节系数的情况下,辐射力随着NEAC的降低呈近似线性增加,随着TMAC的降低呈非线性减小;在同步改变冷梁和热梁表面调节系数的情况下,辐射力随着TMAC的降低呈非线性增加,随着NEAC的降低呈先减小后增大的趋势。研究结果可作为设计、制造MEMS器件时的选材参考,以获得尽可能大的辐射力。 相似文献