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281.
一种非接触光外差轮廓仪 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍了一种纳米级非接触超高精度光外差轮廓仪。该量仪是基于普通光路的外差干涉仪,两束具有微小频差的激光束照射到制件表面:其中一束光被会聚后作为测量光针扫瞄制件表面;另一束光则被用作参考光束。这两束光经反射后形成干涉,所得信号的光程差与制件表面高度变化成正比。量仪的横向分辩力小于2μm,垂直分辩力小于1nm。制件不需要进行大的调整。制件表面同时亦被作为测量参考面。经光电转换后,信号由微机处理,从而快速完成测量、计算、显示与打印各种参数与图形。 相似文献
282.
283.
本文提出了求解核函数方程的辅助核法。此法克服了偶极子栅格法对网格分布的限制,具有更大的适用范围。数值计算表明,此法对求解绕翼型的跨声速激波流动是很有利的。 相似文献
284.
本文根据端面齿分度盘在对研过程中的特点,针对其表面形貌进行了试研、观测和分析研究,旨在揭示端齿对研所特有的机理及其表面形貌的构成方式,并进而阐述它与分度精度的关系及用以提高精研效率的有效方法。 相似文献
285.
286.
机场水泥混凝土道面表面裂纹比较常见,依据表面裂纹产生的机理,分析了引起民表面裂纹的基本因素,提出了消除表现裂纹的主要措施,并在郑州薛店机场施工中具体应用,取得了明显的效果。 相似文献
287.
对于大多数光学系统,一般都假设透射波面具有均匀的振幅(或高斯型振幅)和恒定的偏振态。这是几何光学的不完善假设。文中讨论的方法,适合于分析这种假设不能成立的系统。文中所讨论的偏振分析法包括了偏振光线追迹和偏振像差论。文中还讨论了偏振现象的基本分类定义,并述评了琼斯(Jones)计算法,以此作为讨论的基础。 相似文献
288.
本文以焊缝探伤为例,对X射线探伤中的电压、焦距、底片黑度,角度诸种参数以及工件厚度对灵敏度的影响进行了综合分析,并对一些参数的选择进行了讨论。 相似文献
289.
290.