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快速控制反应镜(以下简称快反镜)是光电精密跟踪系统中必不可少的组成部分,在消费电子、医疗、天文望远镜、激光通信等领域中有着广泛应用。基于硅基微电子机械系统(micro-electromechanical system, MEMS,)工艺制作微型快反镜,对于实现快反镜和跟踪系统的小型化、轻量化有重要意义。陈述了一款硅基快反镜的结构设计、工艺选择以及制作攻关过程。通过加工便利性、加工精度、加工可靠性与制作成本的综合分析比较,确定了MEMS深硅刻蚀工艺制作小型化快反镜可动结构技术思路。快反镜的制作中,通过“化面为线”的版图优化减少刻蚀面积解决了深硅刻蚀不匀问题,通过清洗方法的对比和择优解决了反射镜面表面清洁度问题,通过改变金属化方法解决了镜面的面形精度控制问题。测试结果表明,此款基于硅基MEMS工艺的小型化快反镜满足了设计和应用需求。 相似文献
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针对卫星通信系统考核用热真空吸波箱对结构吸波材料的需求,文章采用前驱体法和热解工艺制备了以热解碳为基体的轻质泡沫结构吸波材料。性能测试结果表明:该材料不仅适用于高真空、高低温循环热真空吸波箱环境,而且具有适合尖锥型高效吸波结构设计的宽频带、宽温域高介电损耗的电磁特性。在此工作基础上,以开展无源互调(PIM)吸波箱研制为例,分别建立电磁波室温远场平面波照射仿真模型和吸波箱内宽温域电磁波近场球面波照射仿真模型。综合两模型仿真结果,确定了该吸波材料尖锥+底板结构的具体尺寸。结果表明其吸波性能满足国军标的考核要求。 相似文献
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文章介绍了空间飞行器荼过程中的空间环境条件。为满足这些要求,在设计与选材时须考虑一些因素。此外对模型号任务中使用的P75S/环氧648复合材料耐空间环境条件的性能做了简要评述。 相似文献
228.
陶瓷基复合材料界面相设计 总被引:2,自引:0,他引:2
综述了陶瓷基复合材料界面相的类型及作用,对SiC1/SiC陶瓷复合材料界面相的设计方法作了简要评述。在此基础上,用能使得纤维表面富碳的先驱体作为纤维涂层,制作了C1/SiC陶瓷基复合材料试样。结果表明,高温处理后,富碳涂层可减少纤维强度损失,使复合材料的强度和韧性同时得到提高。 相似文献
229.
硅基材料烧蚀模型研究 总被引:13,自引:2,他引:13
对冲压发动机燃烧室所使用的硅基热防护材料,用以往的单纯因二氧化硅液态层被气动吹除减薄的模型进行烧蚀计算,计算结果和实际偏差很大。我们根据硅基热防护材料的实际特性,在原有的液态层模型的基础上,考虑了夹杂碳化层对熔融态硅基的补强作用,提出了既有液态层吹除也有化学反应烧蚀的新模型,即考虑了热解、熔融和碳化、气动吹除结合化学反应烧蚀的多因素过程。并根据硅基热防护材料的烧蚀特点,根据发动机模型的试验结果,初步总结出了液态层粘附力的经验公式。从物理概念上分析可以看出该模型基本符合实际情况;从多种工况计算结果可看出,新模型和经验公式是比较合理的。 相似文献
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文章介绍了空间飞行器工作过程中的空间环境条件。为满足这些要求,在设计与选材时须考虑一些因素。此外对某型号任务中使用的P75S/环氧648复合材料耐空间环境条件的性能做了简要评述。 相似文献