内镀金刚石铰刀制造中开刃技术

内镀金刚石铰刀在脱模和刀杆的加工处理后,还要进行开刃,目的是为了让被金属镀层包裹的金刚石颗粒暴露出合适的高度,使之具有切削能力和容屑能力.本文主要介绍了几种开刃方法,并进行对比,最后对该领域的新技术进行展望.     

单晶硅超精密切削工艺参数优化与实验研究

为提高单点金刚石车削单晶硅的表面质量,以表面粗糙度为优化目标,设计正交切削实验,过方差分析、响应曲面分析和极差分析研究主轴转速、进给速度和切削深度对表面粗糙度的影响。结果表明：主轴转速对表面粗糙度影响显著,其贡献率最大,主轴转速越大,表面粗糙度值越小;建立表面粗糙度回归模型,主轴转速和进给速度的交互作用对表面粗糙度的影响最大;获得最优切削参数组合,即主轴转速3 300 r/min,进给速度2 mm/min,切削深度5 µm。在此切削条件下,获得了表面粗糙度Ra 2.7 nm的高质量单晶硅元件,在扫描电镜下观察其表面相对光滑,切屑呈带状,材料在延性域内去除。     

热铁盘法高速抛光CVD金刚石

利用高速热铁盘抛光设备对化学气相沉积(CVD,Chemical Vapor Deposition)金刚石进行抛光,分别进行温度、转速、压力以及抛光时间的实验.采用光学天平对抛光前后金刚石称重对比,采用工具显微镜和原子力显微镜对抛光后表面进行研究.结果表明:较高的抛光速度对提高表面质量以及抛光效率均比较有利.在抛光温度850 ℃,速度164 mm/s,压力24.892 N的条件下,抛光120 min后,金刚石表面的粗糙度由原来的R_a=9.67 μm下降到R_a=0.016 μm.原子力显微镜显示,抛光表面存在少数高度在60~70 nm之间的突峰,其高度是普通峰高的2~3倍,且峰的形状呈现出一定的方向性.这种表面微观规律与抛光时采用的直压式运动方式有关.      

金刚石薄膜图形化技术的研究

从金刚石薄膜半导体器件的实用要求出发,比较了金刚石薄膜的各种图形化技术,研究了它们各自的特点和适用性,如播种法选择性生长、掩膜法选择性生长、离子束刻蚀和反应离子刻蚀技术等.     

高精度、超高精度气相沉积金刚石厚膜刀具的特性及其应用

通过对聚晶金刚石和化学气相沉积金刚石厚膜的特性分析、试验及实际应用 ,得出了金刚石厚膜刀具除兼有单晶金刚石和金刚石薄膜涂层刀具的优点外 ,还具有精加工和超精加工的优异特性的结论 ,其发展前景广阔     

旋转超声钻削碳纤维复合材料钻削力和扭矩的研究

针对碳纤维增强树脂基复合材料(CFRP)加工过程中的问题,对金刚石套料钻旋转超声钻削CFRP-T700型复合材料展开了研究。研究发现,钻削力随主轴转速的增加具有减小的趋势,而扭矩则随着主轴转速的增加,呈现增大的趋势;与传统加工相比,旋转超声振动钻削可降低切削力及扭矩达56.6%和39.1%,有效抑制加工缺陷的产生。初步建立了切削力和扭矩之间的数学模型,并通过试验对切削力和扭矩之间的比例常数k加以验证。研究结果表明,旋转超声钻削CFRP在降低切削力和扭矩方面有较大优势。     

金属结合剂金刚石砂轮的电火花整形

电火花加工法是金属结合剂金刚石砂轮的理想整形方法．它具有高效率、高精度等特点．本文讨论了青铜结合剂金刚石砂轮的电火花整形的基本规律：如脉冲电源电压、脉冲电源限流电阻、电源脉冲频率、脉冲占空比、砂轮转速、砂轮初始偏心量等因素对整形速度的影响．     

Ni-Mo-金刚石复合电沉积工艺

利用ＳＥＭ 研究了复合电沉积工艺条件对Ｎｉ＿Ｍｏ 沉积层成分和形貌的影响。根据总的复合电镀工艺时间来相应改变Ｎ２Ｈ４·Ｈ２ＳＯ４ 的浓度,成功地制备了Ｎｉ＿Ｍｏ＿金刚石（ 粒径为５μｍ） 的复合电沉积层。另外,利用ＥＰＭＡ 对Ｎｉ＿Ｍｏ＿金刚石复合电沉积层进行了Ｘ射线面扫描分析     

人造金刚石提纯新工艺

用化学方法提纯人造金刚石,在一定程度上降低了人造金刚石单晶的强度,在变温熔融NaOH除叶腊石工序时,金刚石单晶抗压强度降低10～40MPa。采用另一种人造金刚石提纯新工艺,即提纯中不用或少用化学提纯法,使50/60目以粗金刚石单晶免于NaOH处理,从而有效地保证了人造金刚石单晶产品质量,并且简化了生产工序,降低了成本,减轻了劳动强度。     

纳米金刚石改性LLDPE的非等温结晶动力学

采用X射线衍射(XRD)、偏光显微镜(POM)以及差示扫描量热(DSC)法,考察了纳米金刚石(Nano-diamond)对线型低密度聚乙烯(LLDPE)的结晶形态以及非等温结晶行为的影响。通过Jeziorny法和莫志深法研究了复合材料的非等温结晶动力学,并利用Kissinger方程计算了LLDPE/Nano-diamond复合材料的非等温结晶活化能。结果表明:Nano-diamond是一种有效的成核剂,为LLDPE结晶提供了更多的活化晶核,起到了异相成核的作用,既提高了LLDPE的结晶起始温度To、结晶峰值温度Tp和结晶速率,又降低了球晶的尺寸,使得球晶的分布更为均匀致密;添加Nano-diamond使得复合材料的结晶迁移活化能降低,当Nano-diamond含量为1%时,复合材料结晶活化能达到最小值。