一种摆式加速度计结构模态分析

利用ANSYS软件对一种单轴摆式加速度计的结构进行了有限元分析,得出了各阶模态下加速度计结构的固有频率和振型,找到了处于该型加速度计通频带之内的模态频率。然后,对加速度计进行了结构优化,使各阶模态频率处于通频带之外,为加速度计的结构改进提供了理论依据。     

角振动校准装置研究

为提升对惯性器件的动态性能评价能力,通过对被校传感器施加标准正弦角振动激励,精确测量角振动过程,实现了对角振动传感器的校准。基于不同频段的特点,将校准频段划分为低频和高频2部分,并提出空气轴承与无刷直流力矩电机相结合的低频角振动台方案,以及轻质空心杯精密空气轴承与框式电磁驱动结构相结合的高频角振动台方案;分别采用精密角度编码器和衍射光栅激光干涉仪实现对低频和高频角振动的测量,成功研制出频率范围为0.25~550Hz、角加速度范围为0.1~1 760rad/s2以及角速度波形失真小于2%的角振动绝对法校准装置。与德国国家物理技术研究院的角振动校准装置相比,该装置能够显著提升承载能力,可广泛用于惯性器件动态性能的测试与评价。     

加速度计自动测试系统

简要介绍了一种自动化程度较高的加速度计自动测试系统,着重讲述了系统主要部件的测量与控制方法,并对系统的数据采集与数据处理做了分析。     

惯性器件结构件的材料选择

本文从惯性器件的结构设计要求出发,根据惯性器件的结构特点及使用条件的特殊性,阐述了适当选择材料应注意的特征指标参数,比较了几种常用材料的性能,介绍了新型材料——复合材料的特性及目前国内外的应用发展情况。     

微惯性器件

本文简述了微惯性器件的发展情况，介绍了微加速度主，微陀螺仪的工作原理，论述了微惯性器件的发展方向。     

静电悬浮微加速度计气膜阻尼分析

气膜阻尼对静电悬浮微加速度计系统的动态特性有着重要的影响。本文首先根据流体力学理论,构建了描述微加速度计内部气体压膜阻尼特性的线性Reynolds方程和描述微加速度计内部气体滑膜阻尼特性的线性Navier-Stokes方程,推导出悬浮质量块在轴向和径向运动时的气膜阻尼系数,并进行比较。然后采用ANSYS软件进行仿真分析,结果表明,解析误差在10%以内。     

电涡流传感器在偏心检测中的应用

本文讨论了电涡流传感器基本原理,提出了半边谐振曲线测量、传感器极值参数选择、传感器线圈交叉绕制等新方法,解决了小直径弱涡流效应偏心检测的难题。在WPX-01型偏心测量仪设计中,获得了满意的效果。     

表面微加工惯性传感器的实例—一种电容式加速度计

本文介绍了单一芯片上的三敏感轴表面微加工加速度计的技术原理,传感器的设计以及与之相关各单轴加速度计的测量结果。传感器的机械结构由厚为１０微米的多晶硅层采用高淀积速率淀积工艺加工而成。实现该传感器的全部制造过程是考虑到与化ＢＩＣＭＯＳ制造过程合二为一的要求。     

导航控制系统用硅传感器的开发

当前,硅微机械器件引起导航与控制系统传感器开发者们越来越密切的关注,微硅加速度计和角速率传感器最根本的优势在于其体积小,功耗低,相对成本较低,而且与微电睡的组合成本低,可实现。本文介绍了ＲＤＣ在微硅加速度计和多用传感器研制方面的成果,介绍了硅平衡式加速度计和频率输出型开环加速度计的基本特性,同时,探讨了今后导航和控制系统中硅微机械应用的技术路线。