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几何量纳米计量发展综述 总被引：1，自引：0，他引：1
对国外如何改进线性和角位移计量的传统办法,使之能进行纳米级测量,并应用扫描通道式显微镜(STM)对微观轮廓测量进行了综合分析。 相似文献
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由于光栅技术的普及应用,近几年逐渐出现了各种数显计量器具,而现行使用的检定规程和校准规范却依然是面对传统机械式量具所制定的.因此在校准、检定过程中,对依据文件的适用性提出了置疑. 相似文献
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