用于PolyStrata技术的光刻工艺探索研究

在高集成的射频微机电系统RF MEMS（Radio Frequency Micro Electro Mechanical System）器件的发展趋势下，三维集成工艺的研究越来越多。基于PolyStrata技术的三维多层堆叠同轴器件以其无色散、低损耗、超宽带的优势脱颖而出，PolyStrata技术使用紫外厚胶作为牺牲材料，对光刻胶粘附性、精度、工艺兼容及释放性能要求高，常规厚胶难以满足。探索A、B两种紫外光刻厚胶，对两者工艺参数及图形质量进行对比研究。结果表明，光刻胶A厚度均匀性为98.6%，图形偏差小于10μm；光刻胶B图形偏差小于5μm，但均匀性较差，约80.4%。     

大足石刻艺术博物馆三教神佛的人间驻跸

大足石刻艺术博物馆里,那雕刻精美的石刻,虽经千年的岁月侵蚀,略显斑驳,然而岁月却带不走它们的璀璨光辉。作为晚期石窟艺术代表作的大足石刻在吸收、融化前期石窟艺术精华的基础上,于题材选择、艺术形式、造型技巧、审美情趣诸方面都较之前代有所突破,以鲜明的民族化、生活化特色,成为具有中国风格的石窟艺术的典范,与敦煌、云冈、龙门等石窟一起构成了一部完整的中国石窟艺术史,更被列入了世界文化遗产名录。     

大高宽比阶梯型铜微柱阵列的制作

基于THB–151N光刻胶的微电铸工艺制作了一种阶梯型铜微柱阵列。针对THB–151N光刻胶显影过程中20μm微盲孔显影困难和底部留膜的问题,提出了一种基于浸没式双向兆声波辅助的显影方法。仿真研究了兆声功率密度和微盲孔深宽比对显影液传质过程的影响。优选了兆声功率密度和微盲孔深宽比,并开展了兆声辅助显影的试验研究。同时,针对THB–151N胶膜因曝光剂量选择不当导致微盲孔侧壁垂直度差的问题,通过光刻试验分析了曝光剂量对微盲孔侧壁垂直度的影响,拟合出曝光剂量与胶膜厚度的经验方程。在上述工艺方法和试验研究的基础上,制作出高度300μm、整体高宽比达15∶1、最小边长20μm、4×6的阶梯型铜微柱阵列。     

航空有机玻璃紫外光老化研究

对YB—DM-11航空有机玻璃试样在254nm和313nm两种波长的紫外光照射下,进行了2个月的加速老化试验,跟踪测试了有机玻璃的抗拉强度和重量变化规律。通过红外光谱（FTIR）、热分析（TG／DTA）、扫描电镜（SEM）和凝胶渗透色谱（GPC）等方法,分析了老化前后试样的结构和性能,结合老化前后有机玻璃的性能变化规律,揭示了有机玻璃在紫外光照射下的老化机理。     

双酚A型环氧树脂的阳离子光固化体系的研究

通过研究光引发剂、光敏剂和链转移剂等对双酚A型环氧树脂阳离子光固化的影响,确定了双酚A型环氧树脂光固化体系的配方组成。利用湿法手工铺叠工艺和紫外光辐照固化技术,制备了玻璃布/双酚A型环氧树脂复合材料,研究了光敏剂和链转移剂等对光固化复合材料力学性能的影响。结果表明:可利用紫外光辐射固化成型技术制备玻璃布/双酚A型环氧树脂复合材料,加入链转移剂的光敏树脂基复合材料具有良好的力学性能。     

充气型紫外光敏管降噪研究

充气型紫外光敏管噪声过大是紫外火警探测系统最难克服的问题。本文从器件制造和使用的角度分析了影响紫外光敏管噪声的重要因素,探讨了降噪措施:制造工艺方面,采用高纯度金属镍基阴极材料和保持阴极表面质量良好,充分老化器件,选择高纯度氢气为主充气体并控制充入氦气比例不高于15%;使用方面,降低器件工作电流和工作电压可进一步减小器件噪声。最后采用锁相放大进行噪声测试,在120ms内,测得紫外光敏管噪声电压均值为0.0065V,测试不确定度为7.4%;在无外界紫外照射下,经脉冲计数,测得单位时间内紫外光敏管累积输出噪声脉冲为10cpm,显著降低器件噪声。     

整体硬质合金刀具二维码的直接激光标刻与检验

刀具信息条码的标刻和正确识读是刀具信息标识技术中最大的难点.以整体硬质合金刀具为研究对象,以Data Matrix二维码为刀具信息载体,采用直接激光标刻技术,在硬质合金表面进行刀具信息二维码的激光标刻试验.分析了激光标刻参数如功率、速率、频率等对标刻条码质量的影响,建立了面向整体硬质合金刀具的二维码信息直接激光标刻参数选择基准,并据此标刻出了清晰可读的刀具信息二维码.此外,通过条码信息可读性检验试验,分析了标刻条码的可识读程度与条码残缺度、光线、识读距离、识读角度等参数间的关系.结果表明,在条码定位边没有损坏和正常光线条件下识读距离和识读角度对条码可识读程度影响显著.     

飞机复合材料修理中固化技术的探讨

对飞机复合材料固化工艺中热固化、微波固化、电子束固化、紫外光固化等技术的机理和研究现状进行了分析对比。     

紫外光辐照对PBO纤维复合材料力学性能的影响

采用紫外光加速老化试验箱、材料试验机和DMA研究了紫外光辐照时间对PBO纤维复合材料性能的影响。研究结果表明:紫外光辐照导致PBO纤维复合材料的拉伸强度、弯曲强度以及层间剪切强度出现了一定程度的下降,但对复合材料的模量影响较小;经紫外光辐照一定时间后,PBO纤维复合材料的耐热性和刚性均有所提高,随着辐照时间增加,复合材料的E′和E″向低温方向移动,表明复合材料的耐热性和刚性又开始下降。