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类金刚石膜(DLC)及其应用 总被引:4,自引:0,他引:4
金刚石膜和类金刚石膜具有优异的力学特性,电气特性,光学特性,热学特性和化学化学稳定性。与金刚石膜相比,类金刚石膜的制备工艺比较简单易行,因此,类金刚石膜很快进入成熟阶段,文中主要评述类金刚石膜的制备方法,性能,发展状况和军民两方面的应用。简单介绍了前苏联在类刚石膜的研究及应用方面所取得的使世人瞩目的进展。 相似文献
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过滤式阴极电弧沉积类金刚石薄膜工艺研究 总被引:3,自引:0,他引:3
研究了过滤式阴极电弧沉积系统的稳弧工艺参数,通过正交试验获得最佳稳弧参数。并且研究了弯管内置挡板对宏观粒子过滤效果的影响。采用喇曼光谱研究了偏压对生成的类金刚石薄膜性能的影响,证明-100V偏压下获得的类金刚石薄膜有最佳的SP3含量。扫描电镜测试表明,在(111)硅基片上获得致密的膜,但在高速钢基体上沉膜堆积现象比较严重,不易获得优质类金刚石膜。同时也给出了类金刚石的原子力显微照片(AFM),表明稳弧参数对类金刚石薄膜表面形貌有较大的影响。 相似文献
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超精密加工的动向和思考 总被引:7,自引:0,他引:7
吴敏镜 《航空精密制造技术》1999,35(1)
叙述了在超精密加工技术向毫微米精度发展之际,必须探索突破的新途径,要充分发挥信息的作用,综合利用各种有关技术的进步,强调创新。 相似文献
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模拟飞行软件的核心在于其引擎设计,文章从系统设计角度出发,讨论了一种容易实现的、具有通用性的模拟飞行引擎设计方案。该方案给出了引擎的组成、工作原理和应用程序调用接口。 相似文献
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