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31.
本文提出机床进给加速度求解理论公式,并在速度加工模式中引入机床动态性能以修正驻留时间.结合自研的离子束抛光机床KDIFS-500,利用该机床的动态特性和小束径去除函数,仿真正弦面误差,表明修正后速度加工模式能保证离子束修形过程中驻留时间的精确实现,提高面形精度. 相似文献
为了得到在低能条件下更为精确的Ar~+和Xe~+轰击SiO_2的溅射模型,对已有化合物溅射模型进行调研分析,总结了3种溅射模型,分别为Pencil模型、Bach模型和Seah模型,并对其不足之处加以分析。在Seah模型基础上,对溅射阈值采用新的计算方法,并利用等效原子法改进溅射参数和表面键能的计算方法,形成改进后的新模型。结合已有的关于Ar~+和Xe~+法向轰击SiO_2的实验数据,对4种模型的计算结果进行对比分析。对于Ar~+和Xe~+法向轰击SiO_2,改进后的溅射模型的均方根误差最小,拟合优度最高,均优于其他3种模型。说明在低能状态下,采用改进后的模型可以更为精确地计算Ar~+和Xe~+轰击SiO_2的溅射率。 相似文献
33.
34.
用线扫描方法研究某种型号的3cm卡夫曼离子源的稳定性,先介绍了线扫描法估计去除函数的方法以及其数学模型,用线扫描法扫描两块微晶镜面,估计出在不同时间的去除函数,分析去除函数的波动情况来考察离子源稳定性。结果表明该种型号的3cm卡夫曼离子源具有很好的稳定性,满足光学镜面加工要求。 相似文献
35.
本文介绍一种在70年代发展起来的簿膜式电阻温度传感器。它是采用高频溅射将铂簿膜粘附在基底表面,经光刻、焊接、调阻、上保护胶后进行温度特性标定,制成了尺寸小、精度高、反应快,可作表面温度测量、瞬态温度变化及热流测量的新型测试元件。 相似文献
36.
研究了在紫铜基材上用离子束增强沉积法(IBED)沉积TiB2薄膜后,在600,700和800℃的空气中氧化的动力学曲线;在INH2SO4溶液中,用动电位扫描法测定了其极化曲线和极化阻力,用SEM观察了其形貌,用俄歇电子谱仪(AES)分析了膜的成份,用X-射线衍射仪(XRD)研究了膜的微观结构;讨论了TiB2薄膜具有优良耐蚀性的机理。 相似文献
37.
目前针对国内薄膜瞬态热流传感器一致性较差、制备工艺不成熟等问题,提出了一种基于光刻工艺和离子束溅射镀膜工艺的制备方法,200对T型金属薄膜热电偶沉积在10mm×10mm的水冷块上,测量1μm的氧化铝热阻层温差,从而得到瞬态热流密度值。对新型高温瞬态热流密度传感器进行比对法标定,一致性误差为0.211%,即工艺的一致性约为99.79%。实验表明,研制的新型高温瞬态热流密度传感器的一致性好,制备工艺具备良好重复性和可移植性,能够满足高温瞬态热流检测需要,为热流传感器的推广应用及标准化、批量化生产提供了良好的技术支撑。 相似文献
38.
霍尔推力器羽流对太阳翼的溅射作用是影响翼板工作性能、卫星供能稳定性的重要因素。为深入研究霍尔推力器羽流在不同布置工况下对太阳翼的溅射影响规律,采用单元粒子/直接蒙特卡洛碰撞模型(PIC/DSMC)求解羽流等离子体的输运过程,其中对离子的扩散作用采用基于菲克定律的求解模型,并以Yamamura溅射模型来求解等离子体对太阳翼表面的溅射产额。为验证修正扩散模型后的算法精度,在真空舱内开展羽流诊断试验,以试验与计算结果的对比来修正扩散经验参数以及验证计算精度。试验结果表明,在扩散系数kd=126×10-36N·m4时,该模型计算误差在87%左右。在此基础上,对不同的推力器方位角、推力器与翼板距离工况,开展羽流对太阳翼的溅射产额计算。计算结果给出太阳翼表面溅射分布随方位角、距离增加的依变规律,并进行了相关透光率影响程度的讨论,可对推力器的星上布置提供参考依据。 相似文献
39.
本文研究了磁尾等离子体片边界层宽频带静电噪声的产生机制.模型等离子体由暖的背景电子、暖的向地球方向的离子束流和较冷的向尾方向的离子束流组成.结果表明,静电离子束流-密度漂移不稳定性可以在比较宽的频率范围内激发,在低频区大传播角方向上增长率最大,在高频区小传播角方向上增长率也比较大。最大增长率的方向取决于离子束流和密度漂移的速度比值.这些结果与磁尾观测到的宽频带静电噪声特征符合一致. 相似文献
40.
离子推力器加速栅溅射腐蚀失效是制约离子推力器寿命的关键失效模式之一.针对离子推力器长寿命、多功率条件下运行的特点,基于坑和凹槽的溅射腐蚀数据,建立模型对其进行寿命预测.通过研究离子推力器加速栅中心凹槽腐蚀深度在不同功率段下随工作时间的变化规律发现:运行功率顺序对加速栅凹槽腐蚀率影响较小,进而采用累积损伤理论建立离子推力器多功率段下运行的寿命预测模型.最后, 对美国的NASA's Evolutionary Xenon Thruster(NEXT)进行了寿命预测,预测结果寿命为46041h,与试验结果符合较好. 相似文献