硅微谐振加速度计的研究现状及发展趋势

硅微谐振加速度计具有体积小、 功耗低、 准数字量输出和精度提升大的优点,是一种具有良好应用前景的高精度MEMS惯性仪表.总结分析了近些年国内外在硅微谐振加速度计方面的研究现状,主要在结构设计及工艺、 测控电路设计等方面阐述了各自特点.最后,结合近些年MEMS惯性仪表的发展趋势,对硅微谐振加速度计晶圆级真空封装、 测控电路数字化、仪表补偿智能化3个发展方向进行了展望.     

国产硅微机械陀螺仪比对测试

日前,北京长城计量测试技术研究所惯性技术研究室对电子十三所和中科院上海微系统所研制的国产硅微机械陀螺仪开展了比对测试工作,依据《国产硅微机械陀螺仪测试大纲》,对两家比测单位提供的几只陀螺仪进行了全部的参数测试和环境试验（主要是振动和冲击）,并负责编制了《国产硅陀螺仪测方法及计划》。     

硅基防热材料表面流动特性研究

硅基复合防热材料在气动热试验时,表面有大量的熔融物质在气流作用下形成流动的液态层,其表面流动特性直接影响防热材料表面温度、质量损失和线烧蚀量,也间接决定了防热材料的烧蚀性能和隔热性能。本文通过烧蚀机理分析和光学非接触式测量的方法,研究某类硅基材料的流动特性。烧蚀机理分析将熔融物质视为液态边界层,研究其与固体防热材料表面之间的运动特性,同时考虑质量引射效应和液态层蒸发现象,得出液态层流动速度与气流剪切力、液态层厚度和液态层动力黏度的相关公式。光学非接触式测量方法以3D摄影测量为基础,结合PIV增量相关匹配算法和光流法,研究熔融液滴在固体防热材料表面整体的和单一的运动特性。在某一特定的流场状态下,对于表面液态层流动速度,烧蚀机理计算结果为26mm/s,而光学非接触测量结果为10mm/s。两种方法的误差来源主要是理论假设、材料参数和测量区域等方面的不同。研究结果表明,液滴之间具有很强的相互作用且流动速度差距较大,烧蚀机理分析可以做为工程计算方法预估试验结果,而光学非接触测量可以做为烧蚀机理分析的验证手段,并给出防热材料在试验过程中的烧蚀特性。     

铬白口铸铁中硅对组织形态的影响

本文采用高硅进行白口铸铁的合金化。实验发现，随着硅含量的增加，碳化物形貌由网状向断网状、直至分散孤立的条块状变化，碳化物的含量逐渐增加，碳化物的尺寸细化，碳化物硬度、基体硬度也逐渐增大。当硅量〉２．５％，铬量〉５％时，组织中出现了Ｍ７Ｃ３。     

硅灰对掺早强剂预制构件混凝土早期性能的影响（英文）

为研究硅灰对掺早强剂预制构件混凝土早期性能影响,采用硅灰、粉煤灰和早强剂三元复掺技术,测试分析混凝土抗压强度、水化热、水化产物及微观结构,探究硅灰对掺早强剂预制混凝土构件早期性能影响。试验结果表明：掺早强剂预制混凝土构件中硅灰最适宜量为9%;硅灰填充了水泥颗粒间的细小孔隙,但水泥水化初期主要受水胶比及水泥粒径影响;随着水化反应的不断进行,硅灰提供更多成核表面,特有的火山灰反应使掺早强剂水泥基材料水化程度及水化速率增大。     

CMOS 集成硅压力传感器特性的线性分析

作者对最新设计的具有方形硅膜片的 CMOS 集成硅压力传感器的特性进行了理论的和实验的分析。结果表明:传感器的非线性是由硅膜片的大幅度偏折(deflecti-on)和压阻元件的非线性压阻特性所引起的。文章还指出了将非线性减至最小程度时传感器的最佳结构形式。对所制得的压力传感器的非线性作了测量,其值与数学分析值十分吻合。     

笼形低聚硅倍半氧烷纳米材料及其应用

分析了笼形低聚硅倍半氧烷(POSS)单体的结构特点，评述了它的典型合成方法，介绍了最新合成路线，归纳了POSS纳米材料的基本特征，举例说明了这种无机一有机杂化材料在航空航天领域的潜在用途。指出这种新材料今后的主要发展方向是降低生产成本、研制新的功能化POSS单体、开发性能优良的POSS纳米杂化材料、探讨结构与性能之间关系以能动地设计制造POSS纳米结构材料。     

高合金化Al—Si合金室温和高温短时性能的研究

采用透射电镜和扫描电镜对高合金化的ＺＡｌＳｉ６Ｃｕ２Ｍｇ合金在高温（１７０～３００℃）、短时（５～３０ｍｉｎ）条件下的微观组织变化及其对力学性能的影响进行了研究。结果表明，加入一定量的合金元素不仅提高了合金的室温力学性能，而且还能抑制在高温下Ｍｇ２Ｓｉ相的聚集长大，有利于提高合会的热强性。     

硅微加速度计六自由度悬浮控制系统设计

六轴静电悬浮的硅微加速度计以其低量程、高分辨率和多轴集成等特点,在微小航天器的无拖曳控制、微重力测量等方面有着独特而重要的用途.本文针对外带梳齿式长方体检测质量的表头结构,依据带宽、量程、刚度等指标要求,经位移检测解耦变换与加力控制耦合变换后,分别设计出六轴稳定悬浮控制器.在地面大气环境下的仿真分析结果表明,阻尼最小的...