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飞秒激光直写技术在复杂三维微结构加工领域具有显著优势,而调焦是否精准直接影响了所加工结构的完整度.提出了在光路中临时置入调焦光源和物的图像调焦技术,通过调节物的位置使其成像面与激光聚焦面一致,从而通过清晰可分辨的成像状态间接反映激光聚焦状态.利用Zemax软件模拟分析了原飞秒激光光路与加入调焦光源和物的调焦光路,二者可实现相同加工物镜后工作距离与良好成像质量,证明了该方法的可行性.通过分析得到该过程的成像误差主要由成像镜头焦深(3.9 μm)引起,我们获得的理想调焦精度可达到1/2焦深以内.设计了单层高度为5 μm的二层圆柱结构,通过多次实验验证了所加工元件高度误差在1.5 μm范围以内,与理论分析一致,满足飞秒激光系统的调焦要求. 相似文献
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提出了间隙平均电流检测法,通过电流平均值及其方差这两个参数对间隙进行检测,并给出了具体电路框图。 相似文献
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刘希军 《中国民航飞行学院学报》2019,(5)
将民航类学生在大学期间所学相关联知识进行连贯性整合,既有利于先前知识的回顾,又有利于对新知识的认知,使知识构成一个完整的体系,进而使学生对各课程相关专业知识点进行连接,连贯性地学习掌握相关专业课程。本文以民航类电子技术专业中的电子线路技术、微机原理与接口技术、电子设计自动化技术、电子综合设计四门课程为例,结合具体课程教学实例,探讨电子技术专业教学内容连贯性的必要性。 相似文献
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