高精度接触式扫描测头动态特性分析

本文在对高精度光学非球面摆臂式扫描测量方法简要介绍的基础上,建立了高精度接触式扫描测头的结构模型,详细分析了扫描速度对测量精度的影响规律.在此基础上.利用建立的摆臂式扫描测量系统对500mm口径,相对口径1:1的深型球面镜进行了相关测量实验并与干涉测量结果进行了比对.实验验证了上述分析的正确性.     

恒温槽温场温度均匀度的测试

分析采用温度计交换法对恒温槽温场温度分布均匀度的测试与计算方法。     

一种调焦机构运动方向与光轴平行性测试方法

调焦机构运动方向与光轴平行性的好坏直接影响调焦过程中光学系统主点位置、像质均匀性、像面照度均匀性等多项指标。为了在安装过程中保证调焦机构运动方向与光轴平行,需要测量调焦机构运动方向与光轴之间的角度关系。文章通过三坐标测量系统和自准直经纬仪,设计了一种对感光元件非接触式的测量方法,来测量调焦机构运行方向与焦平面法线方向之间的角度关系,通过结构设计与加工补偿实现两者的平行装调。试验结果表明,调焦机构运动方向与焦平面法线方向的角度测量模型准确可靠,数据处理算法合理可行。     

一种非接触式微小飞片速度原位测量技术

文章提出了一种新的微小飞片平均速度原位测量技术,并研制了速度测量装置。在飞片的飞行路径上设置片激光,通过测量飞片经过片激光的时间间隔及对应的飞行距离,便可获得飞片的平均速度。测量装置的主要部件是高频激光器和高灵敏度光电接收器,无其他复杂或者大型设备,易于与激光驱动微小飞片发射装置等配套衔接,操作方便,成本低。大量试验数据表明,测量装置工作稳定可靠,对厚度不小于3μm、速度不大于10 km/s的飞片,速度测量精度优于5%。     

三维几何量非接触测量技术

三维几何量非接触式测量是光电检测技术、先进自动控制理论、计算机控制技术和精密机械相结合的产物,采用激光跟踪技术是实现动态跟踪测量最有发展前途的研究方向之一.     

干湿温度计检定方法讨论

介绍了干湿温度计检定中应注意的问题,探讨了依据风速对测量值进行修正的必要性和可行性,并对测量结果的不确定度进行了分析.     

接触式干涉仪技术改造

介绍了一种接触式干涉仪数字化改造的方法。改造后的接触式干涉仪采用高精度电感式位移传感器采集数据，由计算机直接输出测量报告；减少了人为的读数误差和对线误差，具有测量精度高、测量速度快、操作简单易掌握等优点。     

用工业铂电阻温度计进行精密测温

综述了国外用工业热电阻进行精密测温的发展：改进了敏感元件的生产和装配技术；采用最小二乘法拟合电阻温度关系的二次方程；在０￣６３０℃范围内不确定度达到０．０６℃，并将ＩＥＣ分度表按１９９０年国际温标作了转换。     

齿轮传动装置运行状态综合监测研究

本文提出了运行状态“综合监测”的观点,并介绍了齿轮传动装置运行过程中的温度、噪声、振动、红外光谱、铁谱和表面轮廓等方面进行综合监测的初步研究结果。