新颖测试手段——电子束微探针

在分析测试芯片中，微探针已使用了ZO余年之久。但近几年来，世界上90％以上的先进半导体公司都配备了电子束微探针装置。预计在未来数年内，电子束技术在半导体行业中将会得到广泛应用。随着芯片几何尺寸的不断缩小，传统的机械式微探针已显得愈益不适应。其原因之一是微探针难以与亚微米线宽的金属层引线可靠接触。另一原因是，芯片中的节点电容已低至5～10fF，微探针产生的信号衰减已超出允许的范围。电子束微探针不存在上述问题。与普通的电子扫描显微镜一样，电子束微探针是用聚焦得颇细的电子来去扫描集成电路的表面，然后采集芯片…     

压力探针临壁效应的试验与计算

临壁效应会使压力探针的测量结果发生误差，由于探针属非流线形特体，所以其临壁效应的机理与流线形的机翼不同，不能简单套用机翼的结论。对圆柱三孔针的试验结果表明，可以用叠加点涡的方法来描述其临壁效应，点涡强度随离壁距离的减少而增强。     

高速多级风扇转子后流场测量

针对高速多级风扇转子出口流场的特点,突出追求高频响、小尺寸、高精度、可靠性,发展了一种圆柱单孔高频压力探针。借助位移机构和高速数据采集处理系统,并在测量过程中实时标定传感器零点和灵敏度,成功地直接测出了某高速多级风扇第三级转子出口二维周期性流场。以数据的准确性和精细的分辨率,为这个级的修改设计提供了重要的真实流场依据,并证明了这种探针、测量和数据处理计算方法及测量系统简单、精细、实用和可靠。      

一种高性能旋转四坐标全电动探针位移机构的设计

提出了新的高性能旋转四坐标全电动探针位移机构的设计技术要求指标。对设计中几个主要技术关键的处理做了分析论证。介绍了旋转探针支架必然碰到的平衡、抑制变形和扭转振动问题的解决措施。总体层次布局和旋转机构局部结构的正确处理原则,是整个设计过程的基础。鼓筒探针通道的钢带分隔密封装置完善地解决了探针通道分隔密封问题。      

球面压力五孔探针的校准与使用

流场的测试广泛使用五孔探针。通过校准 ,建立起探针的数学模型 ,可避免采用查表法 ,提高工作效率。本文以球面压力五孔探针为例 ,对五孔探针的校准 ,数学模型的建立及使用方法进行了研究。对五孔探针的使用具有借鉴的意义。     

纳米材料的制备技术及其在航空领域的应用展望

概述了纳米材料的制备方法、主要结构性能特征,讨论了纳米材料作为新型结构材料和功能材料在航空工程领域的应用前景.     

对旋风机对旋叶轮级间流场的实验研究

采用实验方法对对旋风机对旋叶轮级间流场进行了研究。在改变级间间隙和前后级转速的情况下,采用五孔探针对级间压力场和速度场进行了了测量,并对结果进行了分析。研究表明:前后级动叶加功量的分配在对旋风机的气动设计中占有很重要的地位,这种分配可以通过转速的匹配来实现;在气动设计中,应增加对旋叶轮级间间隙的控制设计。      

固体推进剂燃烧过程实时监测与燃速测定系统

在固体推进剂线扫描摄像实时燃速测定系统的基础上,研制成功了新一代的固体推进剂燃烧过程和燃速的实时监测系统。介绍了这一新系统的组成、硬件工作原理和软件的主要功能。利用该系统,可以得到更多有关固体推进剂燃烧过程的信息。     

激光修锐树脂结合剂砂轮的试验研究

使用脉冲ＹＮＧ激光对树脂结合剂砂轮进行了修锐试验研究,并采用激光三维扫描方法对修锐前后砂轮的表面形貌进行测量．通过考察砂轮磨粒突出高度及有效磨粒数等表面形貌特征,比较了在不同的激光修锐参数下所获得的不同的修锐效果．试验结果表明激光修锐树脂结合剂砂轮是可行的,并指出了进行激光修锐工艺参数优化研究的重要性．