铜互连扩散阻挡层工艺优化

针对金属线间击穿电压小、可靠性差的问题,对铜扩散阻挡层（包括钽阻挡层厚度和氮化硅阻挡层薄膜质量）进行研究优化。使用自对准双重图形（SADP）方法能够使金属互连线的特征尺寸缩小,使得互连线扩散阻挡层的厚度期望降低。通过制备不同厚度的钽阻挡层对金属互连体系电阻和击穿电压做详细对比分析,发现硬质的钽金属对化学机械研磨（CMP）产生影响,导致互连体系电阻和击穿电压随着钽阻挡层厚度减小而增加,过薄的阻挡层会导致阻挡性能降低、整体晶圆均一性变差;铜线界面上存在的氧元素极大地降低了氮化硅的黏附性,影响阻挡层性能。在氨气预处理阶段通入不同流量的氨气,在预沉积阶段改变预沉积时间,增加过渡阶段,通过实验分析氮化硅的黏附性,结果证明:氨气流量的增加、预沉积时间的减少、过渡阶段的增加能提高氮化硅的黏附性,改善了薄膜阻挡能力。      

隧道内危险性介质泄漏扩散的数值模拟

化学危险品的意外泄漏已经造成很多事故,尤其是在隧道这样相对封闭的空间内,事故发生的概率更大。为了有效地控制和预防事故的发生,本文以RANS方程为控制方程,采用基于simple算法的有限体积法,对隧道内危险性介质泄漏扩散过程进行了数值模拟。讨论隧道内危险品(乙炔)运载车在行驶过程中发生小孔泄漏扩散的情况,计算得到了危险性介质浓度的时间和空间分布规律。同时,分析了运载车不同行驶速度和危险品泄漏释放方式(水平释放和垂直释放)对其扩散过程的影响,为进一步了解危险性介质的扩散行为和控制方式提供了理论基础。     

探针式光纤探头的有效检测深度

研究了探针式光纤探头的有效检测深度。采用扩散方程描述光在强散射生物组织中的传播规律,运用纽曼边界条件,使用灵敏度矩阵对有效检测深度进行了研究。灵敏度矩阵和光源与检测器的空间位置分布密切相关。光源与检测器对的灵敏度矩阵定义为：光源位置和检测器位置分别作为光源的光场分布的乘积。设计了6组针对不同参数的模型,参数主要包括光源、检测器光纤芯径、光源、检测器光纤中心距、光纤探头所处的深度、生物组织的吸收系数和散射系数。对探针式光纤探头在各组模型中的有效探测深度进行了仿真,重点研究了六种参数对检测深度的影响。所得结论可以推广到分析光纤检测器的空间分辨率和多光纤检测器的研究中。     

基于有限元法的风洞结构故障诊断

针对2.4m风洞第一扩散段在运行过程中出现的裂纹现象,应用振动测试技术和有限元分析方法,进行了不同工况条件下振动测量和脉动压力测量,获得了结构在气流脉动压力作用下的主要振动频率范围.通过与有限元分析结果验证对比,诊断出了第一扩散段产生裂纹的原因在于内壳体裂纹板与气流长期耦合振动,结构疲劳从而导致出现裂纹.最后在此基础上提出了合理的整改方案,对结构进行了动力学修改.结果表明:结合振动测试,基于有限元法对风洞结构进行故障诊断是一种行之有效的方法.     

铝锂合金超塑成形/扩散连接技术研究进展

轻量化材料与结构是现代航空航天工业的发展方向。铝锂合金密度小,比强度、比弹性模量高,是理想的航空航天材料。采用超塑成形/扩散连接工艺成形的空心夹层结构零件具有整体性好、设计自由度大、成形精度高、无残余应力等优点,而且能够大幅减重、降低成本,广泛应用于航空航天领域。针对航空航天领域对新一代复杂多层结构件整体化和轻量化的迫切需求,回顾了国内外铝锂合金的发展历程,介绍了国内外铝锂合金超塑成形、扩散连接以及超塑成形/扩散连接组合技术的发展现状及其在航空航天领域的应用,指出铝锂合金表面致密稳定氧化膜是阻碍其扩散连接接头质量提升的瓶颈问题,讨论去除铝锂合金表面的氧化层以及防止新的氧化层再生的相关工艺与机理,最后展望了铝锂合金超塑成形/扩散连接技术在航空航天领域的应用前景以及未来研究方向。     

利用有限元法分析涡流远场效应的能流通道

涡流远场检测的激励线圈和检测线圈相距较远,两线圈信号相位差对管内壁缺损和管外壁缺损具有相同的灵敏度。传统的涡流理论难以解释涡流远场现象。为了解释涡流远场现象,T.R.Schmidt提出了“能量通道说”,假设检测线圈中的信号是由从激励线圈附近向外穿过管壁再从检测线圈附近向内穿过管壁后的能量激发产生的。本文利用有限元法分析了铁磁性钢管内能量的可能传递途径,结果表明“能量通道说”中的假设是正确的。     

短小精干的海中游击手浅论特战潜艇与渗透作战

1996年9月18日，一艘朝鲜人民共和国的“鲛”级（San-O）特点潜艇在韩国江原道江陵外海执行渗透任务时因主机故障而意外搁浅、韩国海防部队在发现之后立刻通报韩国军方前来围剿。舰上24名朝鲜官兵在面对韩国军方的优势火力压境时，11名就地自决，另外13外则携带原本用于渗透韩国的装备强行在敌火下泅渡上岸。虽然韩国军方占尽数量、火力、机动力和地利优势，但在围剿这抗朝鲜特点部队的过程中却屡次无法得手，最后费时将近一个半月才得乘下的13名朝鲜特战部队剿清。其中韩国军方还误杀了一名韩国平民，让当时的韩国国防部长为此引咎辞职下台。     

磁扩散电弧运动图像实验研究

电弧等离子体与气体之间的相互作用机理研究一直在低温等离子领域受到关注。为了获得比较均匀的大面积直流电弧等离子流，设计了一种利用外磁场驱动电弧旋转的等离子发生器。利用高速摄影技术研究了大气压条件下氩电弧等离子体在弧室中的运动情况，得到了典型的螺旋型电弧照片，分析了外部磁场对电弧运动形状、电弧电压的影响和弧根附近的气流扰动情况，认为磁场分布的不均匀性是导致电弧形状多样性和不稳定性的主要原因，而阴极烧蚀引起了弧根区气流扰动的不对称性。     

用化学气相渗透法制备莫来石陶瓷基复合材料

研究了A lC l3-S iC l4-H2-CO2气相系统不同温度化学气相沉积(Chem ica l vapor depos ition,CVD)A l2O3-S iO2系氧化物相组成及显微结构,分析了不同温度下气相的渗透效果和550℃沉积产物的相演化。结果表明,1 050℃沉积薄膜由多晶致密-αA l2O3,3A l2O3.2S iO2,少量-δA l2O3,-ιA l2O3和非晶S iO2组成,850℃沉积薄膜由多孔-δA l2O3结合非晶S iO2组成,550℃沉积薄膜由致密-γA l2O3结合非晶S iO2组成。550℃的化学气相渗透(Chem ica lvapor in filtration,CV I)过程有良好的渗透性,可以制备N ex te l 720/A l2O3-S iO2复合材料。进一步研究表明,550℃化学气相沉积出的A l2O3-S iO2复合氧化物经1 350℃热处理可转化为-αA l2O3结合莫来石相。     

远场涡流检测中的相速度分析

对远场的相速特性作了较详细的分析。文中首先从电磁场有限元出发对轴向和径向上的似稳态场相速度作了仿真研究，发现其在空间某些位置上具有稳定的相速，与波特点相似。同时分析了参数μ，σ，ｆ对相速的影响。结果表明，其与电磁波在良导体中传播规律的定性分析相符。最后本文还对瞬态激励下的远场涡流效应作了一定分析，结果再次证明其具有似波特性。