一种非接触光外差轮廓仪

介绍了一种纳米级非接触超高精度光外差轮廓仪。该量仪是基于普通光路的外差干涉仪,两束具有微小频差的激光束照射到制件表面:其中一束光被会聚后作为测量光针扫瞄制件表面;另一束光则被用作参考光束。这两束光经反射后形成干涉,所得信号的光程差与制件表面高度变化成正比。量仪的横向分辩力小于2μm,垂直分辩力小于1nm。制件不需要进行大的调整。制件表面同时亦被作为测量参考面。经光电转换后,信号由微机处理,从而快速完成测量、计算、显示与打印各种参数与图形。     

有关误差的基本概念与表示

阐述了“测量误差”、“测量不确定度”及“测量准确度，，等计量学基本概念，明确指出了这些概念的内涵、表达方法及使用中应注意的问题，并讨论了它们的联系与区别。     

动基座上垂直发射导弹程序控制段的姿态测量误差分析

动基座上垂直发射导弹程序控制段的姿态测量误差所产生的导弹姿态误差主要两部分构成：ｉ）垂直发射导弹在初始发射时动基座提供的初值所形成导弹的姿态误差。     

调频调相应答机距离零值测量方法

提出上行大频偏调频、下行调相侧音测距应答机距离零值测试方法。此方法的优点是设备简单，测量精度高。理论和实验证明，这种方法是正确的。