应用不等栅距光栅的光刻对准系统

介绍一种在分步投影光刻机中,采用不等栅距光栅进行对准的系统。详细介绍了该系统的光学原理、所采用对准目标的刻线形式、空间滤波的方法、信号处理的方法和对系统有影响的误差源以及改进措施。     

线电极电火花加工试验研究

介绍了电火花线电极磨削机构,并对线电极磨削加工工艺进行了试验研究。试验表明,该机构能够有效地用于微细电极与微细轴的制造。     

微细电火花线切割加工工艺研究

通过对微细电火花线切割加工极间放电状态的分析,提出了微细电火花线切割加工伺服进给系统的特点,并总结了微细电火花线切割加工的工艺规律,为实现生产领域的高精度、高效率加工提供了可靠的工艺保障。     

大面积微细结构的电火花加工

采用深度光刻与电铸技术相结合的方法,较好地解决了大深宽比的电火花工具电极的制造问题.在此基础上,利用优化的微细电火花加工工艺,实现了大面积微细结构的精细制造.     

迎角、宽高比、湍流度对矩形截面柱体压强分布影响的研究

本文研究了宽高比、湍流度对矩形柱体压强分布的影响。迎角范围从0°到45°。随迎角增加或湍流强度增加,分离剪切层会在迎风面再附形成气泡。文中还讨论了沿柱体前表面的压强分布。     

单气泡池沸腾传热中的重力效应数值模拟

本文数值模拟了不同重力条件下饱和状态的FC-72在厚度5 mm的SiO2固壁上的单气泡池沸腾传热现象及相应的气泡动力学和传热性能.固壁底面给定均匀过热度10 K,其瞬态热响应被考虑在内.通过多个气泡周期的计算,得到了准稳态的沸腾过程.结果表明,在小热流密度下,气泡脱落直径Db反比于重力的1/2次方,且与Fritz模型一...     

展向不同间距壁面粗糙元对近壁湍流拟序结构的影响

采用氢气泡流动显示技术,研究了壁面不同展向间距粗糙元对近壁湍流拟序结构的影响。实验中粗糙元布置在氢泡丝前,其间距按如下两种排列设置：粗糙元直径的0、1和3倍,等间距1、2和4cm;每种情况粗糙元直径均为2.3、4和6mm。基于平均流速和水力直径的流动雷诺数从14000到48000变化。实验观测了光滑壁面和粗糙元壁面的近壁湍流拟序结构条带特征。发现：对于两种不同排列,相同雷诺数和相同粗糙元间距条件下条带有量纲间距均随着粗糙元直径增大而减小,条带有量纲高度均随粗糙元直径的增大而增大;相同雷诺数和相同直径粗糙元条件下条带有量纲间距均随着展向间距增大而增大,条带有量纲高度均随展向间距的增大而减小。粗糙元壁面湍流条带有量纲间距均比光滑壁面小,条带有量纲高度均比光滑壁面大。研究结果对近壁湍流的流动控制具有重要指导意义。     

气泡水体携带能力的测量实验研究

针对水中上升气泡对水体携带作用一直难以测量的问题,特提出利用气泡上升携带水量来表征其能力大小的思想,进而专门设计了相应的实验装置,重点开展了双液分离转相精测技术的实验研究。实验时选取柴油和水构成双液,并分别采用直接测量和转相精测两种方法测量气泡上升携带水量。结果表明：采用双液法可有效分离气泡携带的上升水体;气泡上升携带水量的转相精测值精度高于其直接测量值,且携带水量越小其精度优势越明显,特别是当携带水量很小,直接测量法可能因误差太大而根本无法实施,但转相精测法却可顺利进行。     

压力波作用下二维椭圆形气泡界面演化规律研究

水中压力波与气泡相互作用研究是解决空泡群溃灭问题的核心基础。射流是压力波作用下气泡非球形演化的最显著特征。本文通过数值模拟方法分析了水中压力波加载下二维椭圆形气泡的界面演化规律。结果表明,射流的生成位置与气泡倾角无关,方向与其密切相关。当气泡倾角等于0°,在气泡长轴两端生成两个方向相反的射流,最终与压力波传播方向相同的射流占主导。当气泡倾角等于90°,在气泡长轴两端生成两个对称射流,其与压力波传播方向夹角为53.9°。通过定量分析涡量方程式中各项的作用,揭示界面处压力梯度和密度梯度不共线导致的斜压机制是射流形成的主要原因。最后,通过改变椭圆形气泡倾斜角度,获得了气泡倾角与射流角度的关系。