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基于MEMS技术的微型阀研究 总被引:1,自引:0,他引:1
根据微机电系统(MEMS)技术和微型阀技术的研究现状与发展趋势,在微型阀致动机理分析和性能对比的基础上,通过对微型阀结构的理论计算和数值模拟,论证了静电致动和压电致动两种微型阀方案,确定了微推进系统用微型阀的主要技术参数和性能指标;通过结构设计和MEMS工艺攻关,完成了基于MEMS技术的压电致动微型阀原理样件制造,并进行了初步的原理试验验证和性能检测。结果表明,基于MEMS技术的压电致动微型阀原理可行,方案合理;通过进一步的结构优化,解决多层键合和系统封装工艺,可以获得高性能的微型阀,为小型、轻质和集成化微推进系统研制奠定基础。 相似文献
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沈泽润 《自动驾驶仪与红外技术》2010,(2):44-48
本文提出了一种具有微机电传感全微分的晶片级微型加速度传感器,并具有连续时间的BiCMOS接口电路。通过使用微加工技术的过程来完成敏感元件的导向使用。为了保护敏感元件硅结构,提高其可靠性,可通过晶片级密封包装的过程实现,并结合使用硅玻璃。虚构的传感元件可以改善噪声性能的固有高宽比,以及校本管理过程中的不稳定性。 相似文献
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创建于1943年的臭鼬工厂是洛克希德·马丁公司内一个相对独立的创新研发设计部门,其正式名称为预先研究发展项目部,具有快速设计、研发和生产原型机的能力,是洛克希德·马丁公司赖以生存和发展的支柱。臭鼬工厂诞生后很长一段时间内.并不被外人所知晓。随着F-104、U-2、SR-71、F-117、F-22及F-35等先进武器装备... 相似文献