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981.
PECVD法生长纳米硅薄膜的压敏特性 总被引:3,自引:0,他引:3
使用常规的PECVD(等离子体增强化学汽相沉积)沉积技术成功地制备出具有纳米相结构的硅薄膜,并研究了以玻璃和单晶硅为衬底材料的纳米硅薄膜的压阻特性,测得两种衬底材料制备的样品均有很高的压力灵敏度系数K,其值可以达到80,退火后K值会增加,电阻随压力呈良好的线性关系,但有较大滞后,并对样品的受力情况及测试结果进行了简单的分析。本文对nc-Si:H薄膜力敏器件的设计和制造将有重要的参考价值。 相似文献
982.
介绍了微组装技术的基本概念和微组装技术国内发展概况,强调开展此项工艺预研工作的重要性。还介绍了微组装技术的组成、国内开展此技术遇到的难题,对如何开展微组装技术研究工作提出了一些建议。 相似文献
983.
复合材料圆锥壳体的位移型方程 总被引:3,自引:0,他引:3
本文在线弹性理论基础上,采用Donnell型扁壳小变形理论,利用最小势能原理,建立了在任意载荷作用下复合材料截顶圆锥壳体的位移型方程。考虑了最一般的弯曲拉伸耦合效应。对于一些特殊情况,给出了相应的简化方程。算例表明,本文新理论预示值与实验结果相当吻合。 相似文献
984.
本文采用Reisaner—Mindlin一阶剪切变形板理论,得出n级双向阶梯式矩形板自由振动系统的总位能。通过Raylcigh-Ritz法,采用粱函数作为各种边界条件下阶梯式板的位移函数,求得阶梯式板的自振频率。 相似文献
985.
986.
在射频微系统对高性能超宽带滤波器的需求下,基于矩形微同轴制备技术研究了10GHz~50GHz的超宽带矩形微同轴滤波器的设计及制备。在矩形微同轴传输线的电路基础上进行电路实现,对超宽带矩形微同轴滤波器模型进行仿真试验,结果显示,在10GHz~50GHz工作带宽内插入损耗小于0.8dB,回波损耗优于17dB,带外抑制达到45dB。基于矩形同轴结构的制备流程经过九次光刻-电铸-平坦化过程及一次介质支撑结构光刻后完成十层滤波器样件的制备,测得制备的滤波器样件性能与仿真曲线基本吻合,在40GHz时插入损耗为0.6dB,回波损耗为21.6dB,在5GHz和55GHz时带外抑制分别为41.8dB和43.9dB。矩形同轴结构的低损耗、高频段等优点在该超宽带矩形微同轴滤波器中有良好的体现。 相似文献
987.
针对微小卫星星间数传发展对载荷传输速率要求更快,平台体积重量和功耗约束更高的趋势,小型化激光通信终端是最优解决方案。文章介绍了激光通信系统常见组成、波长体制和终端构型,深入分析了美国、欧洲和日本等国外典型星载小型化激光通信终端技术发展现状,并介绍了星载小型化激光通信终端的应用前景。最后得出星载小型化激光通信技术的未来研究方向:一方面是激光终端的小型化、一体化和模块化的设计与实现,一方面是初始指向技术的研究。未来急需发展网络拓扑简单可靠,业务类型多样,传输手段灵活的激光集成通信网络,星载激光通信终端技术需具备组件可集成、功能可重构的功能。 相似文献
988.
989.
990.