四轴自由曲面非接触测量系统

提出一种四轴复合式自由曲面非接触测量系统,介绍了系统的组成及工作原理。阐述了该系统的两种测量功能,即回转式测量和多角度平面测量,并给出了测量实例。最后分析了系统的测量精度,实验证明本系统的精度优于0.1mm。     

球杆仪和光栅尺在两轴联动数控工作台运动测量中的应用

用光栅尺和球杆仪组成的测量系统检测了两轴联动精密数控工作台圆运动误差,分析了这两种测量方式的误差源及特征;通过对测量误差数学建模,识别出球杆仪的定位误差和光栅尺安装误差,并提出了光栅尺安装倾斜误差的修正方法,为实现工作台高精度位置控制奠定了基础。     

X射线光刻机中应用的精密定位工作台

为适应超大规模集成电路器件的发展,微电路图形的特征线宽愈来愈细的特点,发展了电子束光刻及Ｘ射线光刻,而Ｘ射线光刻由于其极高的分辨率,对未来的大规模集成电路器件的制作具有很大的应用潜力。随之而来的是要有高精度的定位工作台,以保证高套刻精度的要求。     

可调式工作台表面与测量轴线垂直度的调整方法

论述了可调式仪器工作台的结构、调整原理和调整方法．并以立式光学计的三点支承工作台和锥面支承工作台与测量轴线垂直度的调整为例，具体地阐述了调整方法、步骤和调整细节与技巧．