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本文论述了为研制液体火箭发动机关键件—层板喷注器而采用的光刻工艺技术。本工艺技术是一种交叉性的边缘学科,是微电子领域的光刻技术与精密微机械加工技术相结合的典范,属超精加工。 相似文献
873.
新建自激反激变换器方程及其解析解 总被引:1,自引:2,他引:1
本文的目的是寻找自激反激变换器运行状态特征参量 (运行频率、磁通密度等 )与设计这种变换器所用的基本物理参量之间的函数关系。所用方法与传统方法不同 ,不用电磁学中定义的电气特征参量L ,而基于磁路参量及磁能密度表征变换器输入能量 ,建立了自激反激变换器运行状态特征参量应满足的方程并得到所需的解析解。这个新的结果不仅使设计这种变换器十分简便 ,而且揭示了这种变换器的许多运行特性 ,其中有些是前所未知、意外且十分重要的 相似文献
874.
高截止度新型红外滤光片是三轴稳定卫星红外地球敏感器的关键件之一。文章介绍了用等效折射率概念设计这种滤光片的方法 ,讨论并给出了膜系设计和研制的结果 ,简介了镀膜的工艺技术 ,并与国内外同类滤光片的光学特性进行了比较 ,试验表明新型红外滤光片的膜系设计是成功的。 相似文献
875.
TDICCD相机侧摆MTF的研究 总被引:9,自引:0,他引:9
文章首先介绍TDICCD相机工作原理 ,分析了卫星侧摆引起像速度与TDICCD电荷转移速度不匹配 ,造成MTF下降 ,并提出了解决办法。 相似文献
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878.
879.
随着光学遥感器的不断发展,对光学遥感器的性能要求也不断提高。遥感器系统偏必也逐渐为人们所重视。特别是对射灵敏度要求较高的光学遥感器。 相似文献
880.