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以氧化铟锡(ITO)玻璃为基底,采用直流反应磁控溅射法在室温环境下制备了高透过率调制的NiOx薄膜,利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子电镜(SEM)、紫外可见分光光度计(UV 3600)对薄膜进行分析和表征,研究溅射过程中氩氧比、气压、功率对薄膜结构、形貌及电致变色性能的影响。结果表明:制备的NiOx薄膜表面有明显的结晶颗粒及孔隙,并沿(200)晶面择优生长;随着气压、功率、氧分压的增大,透过率调制先增大后减小,在时间为45 min、溅射气压4.9 Pa、氩氧比113∶7、功率215 W时最高可达58.3%,着褪色响应时间分别为9和19s,相应的着褪色效率分别为77.56和40.39 cm2/C;以最优工艺的NiOx薄膜组装了结构为Glass/ITO/NiOx/Li-electrolyte/WO3/ITO/Glass的电致变色器件,器件在550 nm处的光调制幅度为46.5%,着褪色时间分别为27和45 s,相应的着褪色速率为1.5和0.9%/s,在循环... 相似文献
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采用磁控溅射方法在航天器常用材料聚酰亚胺(Kapton)表面沉积无机氧化物涂层(TiO2和SiO2),来提高材料的抗原子氧剥蚀性能.通过选择试验材料和参数,优化了沉积涂层的工艺,以克服容易产生裂纹的缺点.对材料进行了原子氧效应地面模拟试验,结果表明,在Kapton上沉积涂层后,质量损失下降了2个数量级.另外,有涂层的Kapton表面基本没有变化并且没有出现裂纹.其中,TiO2由于热膨胀系数更接近Kapton,比SiO2的防护效果更好. 相似文献
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立方氮化硼(Cubic Boron Nitride,cBN)是仅次于金刚石的超硬材料,比金刚石具有更高的化学稳定性,可以胜任铁系金属的加工。本文在YG6硬质合金上基于微纳米金刚石过渡层开展cBN涂层的制备研究。本文在热丝化学气相沉积系统中制备微纳米金刚石过渡层(Micro/nanocrystalline diamond,M/NCD),在射频磁控溅射系统中制备cBN涂层,并对M/NCD与cBN涂层进行了成分、微观形貌与结合性能的研究。研究结果发现,在硬质合金基体上,M/NCD过渡层的结合性能明显优于NCD过渡层。磁控溅射制备cBN涂层过程中,存在适合cBN沉积的衬底偏压阈值,过高或过低的衬底偏压均不利于cBN含量的提高。 相似文献
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巨磁电阻自旋阀多层膜作为磁敏传感器材料与磁随机存储器(MRAM)材料,具有高的可靠性与灵敏度,在航空航天等高科技领域有着极大的应用前景。研究多层膜各层间的耦合效应与各层厚度、磁学性能之间的内在关系,对提高自旋阀的巨磁电阻效应、磁灵敏性等具有重要的作用。本研究采用磁控溅射沉积制备了(Cu/Co、Cu/NiFe,Ta/NiFe双层膜与Co/Cu/Co、Co/Cu/NiFe、Co/Ta/NiFe)三明治结构薄膜。采用振动样品磁强计对薄膜磁性、四探针法对薄膜磁阻性能进行了测试研究,采用洛仑兹电子显微镜法观察了薄膜的磁畴结构。研究结果表明,层间耦合效应不仅与非磁性中间层的厚度相关,而且与中间层材料的特性相关。磁阻与磁畴观察均表明层间耦合效应随中间层厚度的增加而减小,而Cu作为中间层的多层膜的层间耦合大于Ta作为中间层的层间耦合。 相似文献
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新型MCrAlX包覆型涂层是国外70年代发展的第三代高温防护涂层。以GH220合金为基材,采用磁控溅射沉积MCrAlX涂层,并通过对涂层的成分及其复合结构、梯度系统优选试验,获得了Ni-20Co-18Cr-12.5-0.6Y-Si-Hf/Al梯度涂层,该涂层的抗氧化性,抗腐蚀性、塑性与脆性得到合理统一,表现出优异的高温防护性能。 相似文献