新型硅微机械谐振器的设计

从理论上分析谐振器的静电制动特性和机械力学特性,给出了活动梳齿的谐振频率和谐振振幅的解析解,提供谐振器结构设计的依据.设计了四种结构形式的谐振器,充分考虑不同静电激励方式对谐振器的影响,合理选取结构参数,有效提高了谐振器抑制侧向失稳和粘附效应的能力.借助有限元软件在考虑硅微加工特性和可行性的基础上对谐振器模态和固有频率的仿真和计算,优化了谐振器结构参数,使工作模态远离其他高阶模态,具有良好的频率特性.     

基于阻抗法的密封动力特性系数实验识别

搭建并优化了密封动力特性系数实验识别装置，应用阻抗法对梳齿密封动力特性系数开展实验识别，研究转速、进口压力和涡动频率对密封动力特性系数的影响。应用基于微元理论的密封动力特性系数识别方法对密封动力学特性进行了数值计算分析，与实验结果进行对比分析。结果表明：实验识别梳齿密封动力特性系数整体上略高于数值计算结果，但趋势上吻合良好，特别是表征系统稳定性的密封有效阻尼系数，数值与实验具有良好的一致性。梳齿密封动力特性系数在转子低频(<100 Hz)涡动时存在一定的频率依赖性，高频(>100 Hz)时阻尼系数的频率依赖性较弱。实验和数值模拟均表明，相较于转速，压比的变化对密封有效阻尼系数的影响更大。