IC制造中平坦化技术的性能与分析

表面平整化技术是半导体工业的关键技术,在一定程度上制约着半导体芯片集成技术的发展,针对多层立体布线的IC全局平坦化技术,介绍了代表当今平整化技术及其未来的发展方向,其中一些技术会取代传统的CMP技术而成为IC产业的主导技术之一;叙述了超大规模集成电路(ULSI)的发展对全局平整化的具体要求;对传统的CMP技术的特点进行了分析;并论述了当今主流的IC平整化技术的原理、性能以及未来的发展方向。     

Langmuir双探针测量Hall推力器羽流特性

应用Langmu ir双探针测量了距离Hall推力器出口30~100 cm的羽流特性。实验中真空舱压力保持在5×10-4~2×10-3Pa之间。实验证明,电子温度和数密度随着角度和轴向距离的变化而变化,但羽流中远场的电子温度变化幅度很小,基本稳定在0.455 eV左右;电子数密度随着与轴向距离和中心轴夹角的增加而减小。实验结果可为高性能的Hall推力器设计提供参考依据,并为等离子体羽流的数值模拟提供输入条件和验证依据。     

全球化背景下弘扬爱国主义精神的基本内容

爱国主义是中华民族前进的动力和精神支柱。在全球化背景下，面对复杂多变的国际形势，弘扬爱国主义精神就要求我们确立“全球意识”，树立“忧患意识”，发扬中华民族刚健有为的民族精神。     

基于改进A*算法的可行性路径搜索及优化

针对路径搜索和路径优化问题，提出了一种改进的A＊搜索算法。对估价函数予以加权处理，并引入“人工搜索标志”，避免重复搜索无效区域，能有效且快速地逃离障碍物陷阱，使得算法在未知环境中能有效准确地找到可行性路径，并对可行性路径进行了优化，得到最短路径。仿真实验证明了算法的有效性和适应性。     

应用于强化传热的相变材料微胶囊的制备及特性

相变材料微胶囊(MEPCM)悬浮液是一种高热容冷却介质,其应用可大幅提高高功率设备液体冷却性能。本文对相变材料微胶囊的制备及其热特性进行了研究,研制了以蜜胺树脂为壁材、22烷为芯材、粒径10微米、不同芯材含量且适合于电子设备液体冷却的双层壁MEPCM。通过光学显微镜以及扫描电镜(SEM)观察到包覆完好的圆球状MEPCM。研究了制备过程中影响粒径以及包覆特性的因素。最后的DSC热分析表明了MEPCM具有很高的蓄热能力。      

涡扇发动机性能优化调整的理论与试验研究

1引言现代无人飞行器涡喷、涡扇发动机通常采用固定几何式结构[1~4],为了能够将已有的涡扇发动机用于不同的飞行器,在不对发动机结构做较大改进的情况下,可以通过调整影响发动机特性的某些重要截面来实现发动机总体性能调整与优化,这些重要截面亦称为关键截面,例如本文所研究的     

用于复合材料成型的硅橡胶气囊的使用寿命评估

为考察用于复合材料成型的硅橡胶气囊的使用寿命，模拟气囊的实际应用条件，利用热老化后的硅橡胶的拉伸强度、撕裂强度和硅橡胶与试件的剥离强度相对比来评估。试验表明：1453D硅橡胶老化100次后拉伸强度和撕裂强度都远远大于其剥离强度，推测其力学性能能够满足使用100次的要求，因此可推荐用硅橡胶气囊代替金属芯模用于复合材料成型工艺中。     

不确定线性时滞系统的鲁棒镇定控制

提出了利用构造系统的Lyapunov不等式的对称正定解，采用放大矩阵不等式的新方法，通过对鲁棒反馈控制系统不确定项进行结构表出，基于二次反馈策略构造系统的反馈镇定控制器。首先得到不确定线性时滞鲁棒系统稳定的充分条件，进而给出判别不确定线性时滞反馈系统鲁棒镇定的充分条件。所给出的定理争件易于表达，由于参数少而容易检验。     

基于模糊理论的碟形飞行器复合控制分配策略

针对碟形飞行器变质量矩/推力矢量复合控制系统,研究了以输出误差和误差变化率为参考量及基于模糊理论的控制分配策略。仿真表明,这一设计能够实现两种控制方式的优势互补,达到了良好的控制性能。     

单晶铝纳米级硬度试验研究

使用纳米硬度计对单晶铝进行了纳米压痕试验，利用原子力显微镜对压痕形貌进行扫描并计算硬度值，重点观察和分析了纳米级条件下单晶铝的硬度性质，结果表明，当压痕深度小于2000nm时，单晶铝纳米硬度存在尺寸效应现象；从材料性质的角度分析了纳米硬度尺寸效应现象；探讨了纳米硬度和传统硬度本质上的区别，指出其根本原因在于不同尺度下人们对材料性质的关注点不同。