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691.
X射线光刻机中应用的精密定位工作台 总被引:2,自引:0,他引:2
嵇钧生 《航空精密制造技术》1998,(3)
为适应超大规模集成电路器件的发展,微电路图形的特征线宽愈来愈细的特点,发展了电子束光刻及X射线光刻,而X射线光刻由于其极高的分辨率,对未来的大规模集成电路器件的制作具有很大的应用潜力。随之而来的是要有高精度的定位工作台,以保证高套刻精度的要求。 相似文献
692.
693.
论述了首次采用双列圆柱滚子轴承于三轴台中框水平轴系上,使三轴精密角运动台达到了三个轴摆角1″、两个轴垂直度1″的要求。 相似文献
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698.
文中对碳/环氧复合材料负膨胀结构铺层设计进行了研究分析。结果表明,通过改变角度层±30~±35的含量可以得到各种不同的负膨胀性能;设计时必须综合考虑各种不同性能之间的相关性。 相似文献
699.
高性能对地观测小卫星DMC 4--“北京一号”2005年10月27日在俄罗斯普列谢茨克发射场由宇宙3M火箭成功发射。文章针对小卫星的结构特点和数据特点,指出DMC小卫星图像数据具有获取灵活、重返周期短和大区域覆盖等优势,在地质灾害的调查、监测和预警工作中具有巨大的应用潜力。 相似文献