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41.
基于硅基MEMS三维集成技术的片式多波束发射前端
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赵宇
赵玛利
赵永志
张梦娇
王佳
李美苓
吴洪江
《遥测遥控》
2021,42(5):85-94
基于多波束发射前端的相控阵,具有波束灵活扫描和多目标同时通信的能力,是低轨互联网通信卫星的重要微波子系统.采用硅基MEMS三维异构集成技术,将多个微波单片集成电路MMIC(Monolithic Microwave Integrated Circuit)和硅基MEMS功分交叉网络等无源结构一体化集成,实现了一种K频段8波...
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