一种分体式石英振梁加速度计的研制

加速度计作为导航制导系统的重要元件,要在严酷的条件下及系统全生命周期内保证精度、稳定性、线性度等性能指标要求,这对加速度计的研制提出了极大的挑战。介绍了一种基于振梁谐振和力频特性原理的分体式石英振梁加速度计,给出了加速度计的总体结构和简化的力学模型,并进行了受力分析,指出不能简单通过增加摆质量的厚度来提高加速度计的标度因数。阐述了用双端固定音叉结构制作石英振梁的工艺加工过程,指出铬金掩膜的制作是振梁加工的关键工序。针对振梁等效参数,电路采用具有更大增益的双门振荡器方案。最后,对加速度计进行了标定测试,标度因数为55Hz/g,量程达到±70g,4h的零偏稳定性为8.1μg。测试结果表明,双振梁推挽差分输出的设计有效改善了加速度计的零偏稳定性。     

充油式挠性摆式加速度计中气泡故障的判断

分析了气泡作用于充油式挠性摆加速度计摆不同位置时输出变化的机理。讨论并分析了气泡引起的输出减小、故障单向出现、故障输出数据随通电时间增长而趋于正常，以及倒置摆放测试故障消失等特征及其原因。并与其他主要误差源的输出特征进行了比较，据此归纳了快速有效判断气泡的标准。