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一体式石英振梁加速度计是一种高精度谐振式MEMS惯性传感器。针对现有石英振梁加速度计存在的体积大、全温及力学环境适应性不足等问题,提出一种基于三层石英结构的一体式石英振梁加速度计的设计方案。通过突破高精度薄梁腐蚀及晶圆级键合两项关键技术,成功研制出加速度计样机。经测试,产品全温稳定性优于0.5mg,振动整流误差优于200μg/g^2(@15.68g rms),可以满足中高精度惯性导航应用需求。后续期望通过原位温度补偿及直接键合等技术进一步提升一体式石英振梁加速度计的全温精度及长期稳定性。 相似文献
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GEO卫星热控涂层αS退化空间综合环境模拟试验 总被引:2,自引:1,他引:1
文章用综合低能辐照试验模拟15年地球同步轨道环境对热控材料S781白漆、SR107-ZK白漆、镀银FEP、OSR片的太阳吸收率退化趋势。有机白漆有严重退化,而OSR和 镀银FEP材料退化较少。通过与飞行试验结果比较,证明了本次模拟试验的有效性。通过利用退化趋势的试验数据,应用最小二乘法获得退化数学模型。二次指数退化模型与4种材料退化曲线符合较好。更长试验时间结果可以通过数学模型外推的方法获得。经试验验证,用8年试验数据外推15年数据误差不超过1%。 相似文献
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飞机在地面没有系留的情况下,只能抵抗一定风速的大风,在风速较高的情况下,如果不对飞机系留,飞机将可能发生移动,对飞机或设备造成损坏,甚至造成人员伤害。因此,机坪上飞机系留停放问题是飞机风害防护中十分重要的一环。 相似文献