MEMS晶圆PCM应力表征结构设计与试验验证

针对微机电系统（Micro Electro Mechanical System,MEMS）惯性器件受微加工应力影响显著的问题,设计了一种推拉差分式MEMS晶圆工艺控制监控（Process Control Monitor,PCM）应力表征结构,实现了对MEMS晶圆不同位置应力的测量,避免了电学测试过程中采用晶圆探针引入额外应力的问题。建立了该应力表征结构的数值仿真模型,根据仿真结果对应力表征结构的尺寸参数进行了优化设计,并实际加工了推拉差分式MEMS晶圆应力表征结构。应力表征结构反映出实际加工的MEMS晶圆中不同位置应力大小、方向和应力分布情况。试验结果表明,MEMS晶圆整体上以拉应力为主,同时呈现一种中心挤压变形,外围拉伸变形的状态。沿（100）晶向的最大拉应力在表征结构上产生了18.9μm位移,最大压应力产生了-34.2μm位移;沿（110）晶向的最大拉应力在表征结构上产生了15.0μm位移,最大压应力产生了-57.8μm位移。     

一种基于状态反馈的比例伺服阀控制方法

在电液比例伺服阀中,液动力存在较强的非线性,开环控制下驱动电流与阀芯位移的线性度较差,使用传统PID控制算法难以达到良好控制效果。针对该现象,在分析阀芯液动力特性的基础上,提出了一种位置负反馈式的控制方法。通过搭建比例伺服阀的控制器模型和阀芯受力模型,开展试验验证。结果表明该方法能够有效地解决了控制中的电流—阀芯位移的非线性问题,控制稳定性有明显的提升。     

某三级风扇转子电子束焊接问题处理

某三级风扇的第二级盘鼓组件由四个钛合金零件采用电子束焊接形成,在焊接后轴颈与第二级盘之间的焊缝时,由于焊接定位止口角度的偏差,造成该条焊缝偏离设计,在将已焊接好的鼓筒进行切割修复过程中造成了氮污染.本文对造成此次第二级盘鼓焊缝偏离设计的原因进行了分析,找出了污染的原因,然后有针对性地进行模拟试验及结构调整,最终挽救了第二级盘鼓焊接组件.     

在轨测试系统通用平台建设的研究

对目前国内外在轨测试技术的发展及国内航天测控需求进行了研究分析,提出了建设通用在轨测试系统平台思路和通用平台的初步设计思路。     

开展专业技术学院的思想政治工作

思想政治工作是学院教育的重要组成部分,本文从不同角度阐述了加强学生思想教育的重要性及一系列富有特色的思想政治工作方法。     

三维网格动态细化技术在切削仿真中的应用

为解决切削加工有限元仿真模型求解速度与精度难以平衡的问题,提出了一种适用于三维有限元模型的网格动态细化算法。该算法的主要功能包括网格细化区域判断、网格细化以及新旧网格物理场传递。采用Python语言对Abaqus软件进行二次开发,将该算法应用于Ti2AlNb钛合金车削加工仿真之中,并最终通过实验验证了仿真模型的准确性。与采用局部网格细化的仿真模型计算结果对比,采用网格动态细化技术的仿真模型求解切削力误差增加了7.3%,求解最大应力误差增加0.2%,求解速度提升174.2%。实现了在保证仿真计算精度的基础上,有效提高运算速度。     

光电缆的分布式温度传感网络

提出增加一根光纤光栅与光电缆绕制在一起,用于监测电缆中的实时温度。采朋有限元分析方法,建立了光电缆温度场模型。使用可调谐脉冲激光作为系统光源,在一条光纤上刻制多个相同中心波长的布拉格光栅,即采用全同光栅作为系统的温度传感器,当光电缆线路中温度发生异常时,反射回来的光栅中心波长发生偏移,通过检测反射光中心波长发生的偏移量可以确定光栅温度变化的大小。不同位置的光栅返回光信号所需的时间不同,通过检测和计算光返回的不同时间,可以计算出发生温度变化的光栅位置。实验结果表明,光栅的温度敏感性可以达到11．4pm／℃,光栅的测量温度与实际温度的误差在3％范围内。     

有限长圆管内刚体旋转流的直接数值模拟

通过对三维不可压缩粘性流体的直接数值模拟,研究了有限长圆管内刚体旋转流在初始扰动下,扰动的增长和动力学演化过程.首先,通过改变流动的Reynolds数和旋转角速度ω,分析了轴对称流动中Reynolds数和ω对流动失稳的影响.对于高Reynolds数轴对称流动,利用数值模拟得到的不稳定结果与无粘线性稳定性理论预测的结果一致.最后,为进一步研究流动不稳定发展的三维效应,又进行了完全三维流动的模拟.数值结果表明,三维流动中不稳定的主导模态为螺旋模态,模态在线性段指数增长,导致流动产生螺旋型的漩涡破裂,之后经过非线性段的增长后达到饱和,流动最终发展为轴对称泡型旋涡破裂的稳定状态.     

双系统MCV主控阀8工作边配磨和性能检测技术

在大量工艺试验的基础上,对余度伺服作动器中MCV主控阀制造的核心技术进行了系统研究,总结出了一套完整的配套加工、重叠量配磨和流量特性检测和修整的技术方案,首次在国内实现了该项技术,并且实现了工程化生产。     

基于多幅图像的三维形状恢复新算法研究

提出了基于多幅图像的由明暗恢复三维形状的新算法.传统的SFS是基于一幅图像,而反射图方程是含有两个自由度的PDE,因此SFS是一个病态问题.本文提出了一种基于三幅图像的SFS新算法,克服了SFS的病态性.首先在图像的Lambertian反射模型的基础上,由三幅图像的逐个象素点的图像灰度值,建立物体表面方向的一次代数方程组,得到表示物体表面方向的唯一梯度向量.然后经过梯度恢复高度的算法,得到物体表面的形状.最后给出的仿真实例表明算法的有效性.